香港科技大学(广州)徐巍获国家专利权
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龙图腾网获悉香港科技大学(广州)申请的专利一种集成机器人与视觉识别的半导体刻蚀机台获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223427468U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-10发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202521907045.7，技术领域涉及：H01L21/67；该实用新型一种集成机器人与视觉识别的半导体刻蚀机台是由徐巍;李艺杰设计研发完成，并于2025-09-05向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种集成机器人与视觉识别的半导体刻蚀机台在说明书摘要公布了：本申请公开了一种集成机器人与视觉识别的半导体刻蚀机台，涉及半导体刻蚀技术领域，包括机台本体以及视觉识别装置；机台本体设有刻蚀腔室；刻蚀腔室中安装有机器人本体；刻蚀腔室中设有至少一个刻蚀槽以及至少一个烘干槽；视觉识别装置安装于机台本体，用于采集加工工件或工件载具的表面图像信息；机器人本体能够将加工工件或工件载具运送至视觉识别装置的采集视野中，或能够带动视觉识别装置运动以使得其采集端朝向加工工件或工件载具。通过上述设计，可以实现原位检测，提升了工艺效率和可靠性。
本实用新型一种集成机器人与视觉识别的半导体刻蚀机台在权利要求书中公布了：1.一种集成机器人与视觉识别的半导体刻蚀机台，其特征在于，包括机台本体1以及视觉识别装置3； 所述机台本体1设有刻蚀腔室11； 所述刻蚀腔室11中安装有机器人本体2； 所述刻蚀腔室11中设有至少一个刻蚀槽12以及至少一个烘干槽13； 所述视觉识别装置3安装于所述机台本体1，用于采集加工工件7或工件载具8的表面图像信息； 所述机器人本体2能够将所述加工工件7或所述工件载具8运送至所述视觉识别装置3的采集视野中，或能够带动所述视觉识别装置3运动以使得其采集端朝向所述加工工件7或所述工件载具8； 至少在所述视觉识别装置3的采集端上覆盖有透明的保护罩。
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