苏州新尚思自动化设备有限公司颜博获国家专利权
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龙图腾网获悉苏州新尚思自动化设备有限公司申请的专利EFEM晶圆自动上下料机获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223427475U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-10发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422916317.1，技术领域涉及：H01L21/677；该实用新型EFEM晶圆自动上下料机是由颜博设计研发完成，并于2024-11-28向国家知识产权局提交的专利申请。
本EFEM晶圆自动上下料机在说明书摘要公布了：本实用新型涉及EFEM晶圆自动上下料机，其包括机架、寻边校准器以及转载机械手，其中机架上形成有相连通的置料区、转载区以及校准区，晶圆载具、转载机械手以及寻边校准器对应设置在置料区、转载区以及校准区内，转载机械手包括活动手臂、取放手指以及负压部件，其中活动手臂具有能够在置料区、转载区以及校准区之间运动的活动端部；取放手指上形成有与晶圆边缘轮廓相匹配的靠栅部、与靠栅部相对设置的支撑部。本实用新型一方面基于靠栅部和支撑部的配合，通过沿着晶圆弦长方向延伸的负压槽，能够在无外力夹持下实现晶圆快速吸附定位，大大降低晶圆边缘受力破损的概率；另一方面操作简单，操作方便，晶圆取放效率高。
本实用新型EFEM晶圆自动上下料机在权利要求书中公布了：1.一种EFEM晶圆自动上下料机，其包括机架、寻边校准器以及转载机械手，其中所述机架上形成有相连通的置料区、转载区以及校准区，晶圆载具、转载机械手以及寻边校准器对应设置在所述置料区、转载区以及校准区内，其特征在于，所述转载机械手包括活动手臂、取放手指以及负压部件，其中所述活动手臂具有能够在所述置料区、转载区以及校准区之间运动的活动端部；所述取放手指与所述活动端部相固定连接，且所述取放手指上形成有与晶圆边缘轮廓相匹配的靠栅部、与所述靠栅部相对设置的支撑部，其中所述支撑部自顶面向内凹陷并形成负压槽，所述负压槽沿着晶圆任意弦长方向延伸并与所述负压部件相连通，晶圆能够自边缘抵靠在所述靠栅部上、自底面同步吸附并支撑在所述支撑部上。
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