江苏晋誉达半导体股份有限公司丁桃宝获国家专利权
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龙图腾网获悉江苏晋誉达半导体股份有限公司申请的专利一种晶圆转台的调节装置获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223427484U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-10发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202422561746.1,技术领域涉及:H01L21/687;该实用新型一种晶圆转台的调节装置是由丁桃宝;黄鹏飞;刘毅;陈愿设计研发完成,并于2024-10-23向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种晶圆转台的调节装置在说明书摘要公布了:本实用新型公开了一种晶圆转台的调节装置,包括底板,所述底板上转动安装有晶圆转台,所述晶圆转台上固定安装有与晶圆转台同步转动的旋转连接杆,所述底板上水平直线滑动安装有顶推旋转连接杆的顶推块,所述顶推块端部紧贴旋转连接杆侧面,所述顶推块通过直线推动动力装置驱动,所述底板上设有与旋转连接杆连接拉动使晶圆转台回转的复位结构,所述底板上设有限制旋转连接杆跟随晶圆转台转动范围的限位结构;该调节装置能有效驱动晶圆转台转动稳定准确,同时降低实用成本,提高实用性。
本实用新型一种晶圆转台的调节装置在权利要求书中公布了:1.一种晶圆转台的调节装置,包括底板,所述底板上转动安装有晶圆转台,其特征在于:所述晶圆转台上固定安装有与晶圆转台同步转动的旋转连接杆,所述底板上水平直线滑动安装有顶推旋转连接杆的顶推块,所述顶推块端部紧贴旋转连接杆侧面,所述顶推块通过直线推动动力装置驱动,所述底板上设有与旋转连接杆连接拉动使晶圆转台回转的复位结构,所述底板上设有限制旋转连接杆跟随晶圆转台转动范围的限位结构。
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