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龙图腾网获悉上海谙邦半导体设备有限公司申请的专利一种热台水平检测装置及晶圆加工设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN118127491B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-14发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202410331226.3，技术领域涉及：C23C16/52；该发明授权一种热台水平检测装置及晶圆加工设备是由王兆祥;张朋兵;邱勇;涂乐义;梁洁设计研发完成，并于2024-03-22向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种热台水平检测装置及晶圆加工设备在说明书摘要公布了：本公开实施例中提供一种热台水平检测装置及晶圆加工设备，装置包括：探测组件，包括：探测信号发射器及接收器，沿水平方向设于反应的相对两侧壁；探测信号发射器及接收器之间的探测信号传输路径穿过热台的升降行程中的位置；控制器，至少耦接探测信号接收器，用于根据在热台升降过程中得到的输出信号的第一信号值同参考信号的第二信号值在相同高度位置的差异对比，确定承载面的水平情况；其中，参考信号是探测信号接收器在对应于具有水平承载面的热台的升降过程中输出的输出信号。所述热台水平检测装置构成简单，安装方便，不会影响到反应腔的结构，可以满足实时检测热台水平情况的需求，避免晶圆报废，提升加工良率。

本发明授权一种热台水平检测装置及晶圆加工设备在权利要求书中公布了：1.一种热台水平检测装置，其特征在于，应用于晶圆加工设备，所述晶圆加工设备包括反应腔、以及可升降地设于所述反应腔内的热台；所述热台顶面为用于承载晶圆的承载面；所述反应腔顶部设有供通入反应气体以至所述承载面的进气口；所述热台水平检测装置包括： 探测组件，包括：探测信号发射器及探测信号接收器，沿水平方向设于所述反应腔的相对两侧壁；所述探测信号发射器用于发送探测信号；所述探测信号接收器用于接收所述探测信号并输出相应的输出信号，所述输出信号的信号值同具所接收到的探测信号的信号强度相应；其中，所述探测信号发射器及探测信号接收器之间的探测信号传输路径穿过所述热台的升降行程中的位置； 控制器，至少耦接所述探测信号接收器，用于根据在所述热台升降过程中得到的输出信号的第一信号值同参考信号的第二信号值在相同高度位置的差异对比，确定所述承载面的水平情况；其中，所述参考信号是所述探测信号接收器在对应于具有水平承载面的热台的升降过程中输出的输出信号。

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