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无锡卓海科技股份有限公司耿晓杨获国家专利权

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龙图腾网获悉无锡卓海科技股份有限公司申请的专利一种电子枪的预检系统及预检方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN119361403B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-14发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202411443073.8,技术领域涉及:H01J37/244;该发明授权一种电子枪的预检系统及预检方法是由耿晓杨;相宇阳;戴金方设计研发完成,并于2024-10-16向国家知识产权局提交的专利申请。

一种电子枪的预检系统及预检方法在说明书摘要公布了:本发明公开了一种电子枪的预检系统及预检方法,预检系统包括偏转镜筒、测量镜筒和控制模块;测量镜筒位于偏转镜筒的正下方,二者分别与控制模块电连接;预检时,待检测电子枪镜筒安装于偏转镜筒的正上方,控制模块与电子枪镜筒电连接;控制模块用于控制电子枪发射电子束,以及用于通过偏转镜筒控制电子束在第一方向和第二方向上偏转,以使电子束对第一扫描范围进行逐点扫描;测量筒镜中的电子束收集装置用于采集每个扫描点对应的电流值,控制模块还用于基于该电流值生成灰度图像,并根据灰度图像中亮斑的位置调整电子枪的位置,直至亮斑的中心与图像中心重合。本申请可以提高电镜设备的维修效率,降低维修难度,减少停机时间。

本发明授权一种电子枪的预检系统及预检方法在权利要求书中公布了:1.一种电子枪的预检系统,其特征在于,包括:偏转镜筒、测量镜筒和控制模块; 所述测量镜筒位于所述偏转镜筒的正下方,所述偏转镜筒和所述测量镜筒分别与所述控制模块电连接;所述测量镜筒包括光阑和电子束收集装置,所述光阑的中心具有透光孔,所述电子束收集装置位于所述光阑的正下方; 预检时,待检测电子枪镜筒安装于所述偏转镜筒的正上方,所述控制模块与所述电子枪镜筒电连接;所述电子枪镜筒包括电子枪; 所述控制模块用于控制所述电子枪发射电子束,以及用于通过所述偏转镜筒控制所述电子束在第一方向和第二方向上偏转,以使所述电子束对第一扫描范围进行逐点扫描;所述第一方向和所述第二方向正交且均平行于所述光阑所在平面;所述电子枪的位置同时是所述电子束在所述第一方向上的偏转范围的中心以及所述电子束在所述第二方向上的偏转范围的中心; 所述电子束收集装置用于采集所述电子束在扫描过程中的每个扫描点对应的电流值,并将所述电流值发送至所述控制模块; 所述控制模块还用于基于所述电流值生成灰度图像,并根据所述灰度图像中亮斑的位置调整所述电子枪的位置,直至所述亮斑的中心与图像中心重合,使所述电子枪的发射轴与光学光轴重合;所述亮斑对应所述透光孔的成像区域。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人无锡卓海科技股份有限公司,其通讯地址为:214000 江苏省无锡市新吴区珠江路97号;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

以上内容由龙图腾AI智能生成。

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