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龙图腾网获悉电子科技大学申请的专利一种基于脊波导的集成微光机电系统加速度计获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119574914B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-14发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411879716.3，技术领域涉及：G01P15/125；该发明授权一种基于脊波导的集成微光机电系统加速度计是由鲜承伟;张奕;张怀英;黄勇军;李喆;黄思;文光俊设计研发完成，并于2024-12-19向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种基于脊波导的集成微光机电系统加速度计在说明书摘要公布了：本发明公开了一种基于脊波导的集成微光机电系统加速度计，包括脊波导结构、光子晶体波导结构、光子晶体谐振腔、质量块；光子晶体谐振腔包括两个光子晶体板和之间的空气槽；脊波导结构包括第一宽脊波导1a、第一渐变脊波导2a、第二渐变脊波导2b和第二宽脊波导1b，第一二渐变脊波导2a2b连接第一二宽脊波导1a1b和第一二光子晶体波导3a3b，第一光子晶体波导3a和第二光子晶体波导3b通过光子晶体波导‑微腔耦合结构4a进行耦合；第一光子晶体波导3a、第二光子晶体波导3b和光子晶体波导‑微腔耦合结构4a位于光子晶体板A上；光子晶体板B刻蚀在质量块上。本发明利用脊波导技术实现了高灵敏度和高集成度，同时保持了结构简洁和低成本制造的优势。

本发明授权一种基于脊波导的集成微光机电系统加速度计在权利要求书中公布了：1.一种基于脊波导的集成微光机电系统加速度计，其特征在于，包括脊波导结构、光子晶体波导结构、光子晶体谐振腔、质量块； 光子晶体谐振腔包括两个光子晶体板和位于两个光子晶体板之间的空气槽； 脊波导结构包括沿光子晶体谐振腔射入与射出方向布置的第一宽脊波导1a、第一渐变脊波导2a、第二渐变脊波导2b和第二宽脊波导1b；第一宽脊波导1a和第二宽脊波导1b结构相同且对称布置，分别布置在激光的射入和射出端，第一渐变脊波导2a和第二渐变脊波导2b结构相同且对称布置；第一渐变脊波导2a连接第一宽脊波导1a和第一光子晶体波导3a，第二渐变脊波导2b连接第二光子晶体波导3b和第二宽脊波导1b； 光子晶体波导结构包括第一光子晶体波导3a、第二光子晶体波导3b，第一光子晶体波导3a和第二光子晶体波导3b结构相同且对称布置；第一光子晶体波导3a和第二光子晶体波导3b通过光子晶体波导-微腔耦合结构4a进行耦合；其中，第一光子晶体波导3a、第二光子晶体波导3b和光子晶体波导-微腔耦合结构4a位于光子晶体板A上； 激光通过光纤与第一宽脊波导1a耦合，然后第一宽脊波导1a把光输入第一光子晶体波导3a，第一光子晶体波导3a再将光耦合进入光子晶体谐振腔；通过光子晶体谐振腔的光机械耦合作用驱动质量块谐振，引发光子晶体谐振腔的微小变形，从而导致光学信号变化； 质量块通过悬臂梁固定在SOI基片的功能层上，光子晶体板B刻蚀在质量块上； 其中脊波导结构通过光刻和刻蚀工艺在SOI基片的功能层上形成；选择SOI晶圆作为基片，基片上顶层硅厚度500nm；采用光刻工艺在顶层硅上刻蚀出脊波导以及质量块的结构，脊波导的厚度为350nm。

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