甬江实验室万青获国家专利权
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龙图腾网获悉甬江实验室申请的专利硅游丝及其制备方法和应用获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119620575B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-14发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411874631.6，技术领域涉及：G04B17/06；该发明授权硅游丝及其制备方法和应用是由万青;李华阳设计研发完成，并于2024-12-18向国家知识产权局提交的专利申请。
本硅游丝及其制备方法和应用在说明书摘要公布了：本申请公开了一种硅游丝及其制备方法和应用，属于钟表精密机械制造技术领域。目前制备硅游丝主要是基于SOI晶片，但是SOI的制备需要离子注入等特殊设备和复杂工艺，从而导致硅游丝生产成本较高。本申请采用单晶硅片作为原材料代替了现有技术中的SOI晶片来制备硅游丝，制备方法包括如下步骤：在单晶硅片抛光表面刻蚀形成硅游丝结构后进行热氧化；在硅游丝结构一面上均覆液态树脂后粘贴一层硬质材料，液态树脂完全固化后，单晶硅片和硬质材料层完成临时键合；对单晶硅片背离硅游丝结构的一面进行减薄至暴露硅游丝结构后去除固化树脂，得到游离的硅游丝。本申请的制备方法显著降低了硅游丝的制备成本，便于硅游丝在机械表行业中大规模使用。
本发明授权硅游丝及其制备方法和应用在权利要求书中公布了：1.一种硅游丝的制备方法，其特征在于，包括如下步骤： 提供单晶硅片； 在单晶硅片一侧的表面上刻蚀形成硅游丝结构，然后对所述单晶硅片进行热氧化处理，在所述硅游丝结构上形成保护层； 将所述单晶硅片的硅游丝结构的一面与硬质材料层通过固化树脂进行键合；所述固化树脂填充于所述硅游丝结构的内部间隙并覆盖于所述硅游丝结构； 对所述单晶硅片背离硅游丝结构的一面进行减薄至暴露所述硅游丝结构； 去除所述固化树脂，得到游离的所述硅游丝。
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