华中科技大学曲通获国家专利权
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龙图腾网获悉华中科技大学申请的专利一种基于连续垂直扫描结构照明的三维形貌测量方法及系统获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN119803343B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-14发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202411983913.X,技术领域涉及:G01B11/24;该发明授权一种基于连续垂直扫描结构照明的三维形貌测量方法及系统是由曲通;刘晓军;柴常春;周锡备设计研发完成,并于2024-12-31向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种基于连续垂直扫描结构照明的三维形貌测量方法及系统在说明书摘要公布了:本发明属于三维形貌测量相关技术领域,其公开了一种基于连续垂直扫描结构照明的三维形貌测量方法及系统,方法包括:S1在每个扫描位置对待测样品采集一张结构光图像;S2利用时域上相邻的结构光图像进行背景光强估计,获取均匀照明图像并对结构光图像修正;S3对均匀照明图像进行高通滤波,得到高频在焦信息;对修正后的结构光图像进行低通滤波,得到低频在焦信息;将二者融合得到待测样品的光学层析图像;S4获取待测样品的三维形貌。本发明采用连续扫描结构光照明测量方法,在每个扫描位置仅采集一张结构照明相移余弦条纹图案并进行高精度层析提取,因此能够实现不间断的连续扫描模式情况下的高精度层析成像,大大提升测量速度和精度。
本发明授权一种基于连续垂直扫描结构照明的三维形貌测量方法及系统在权利要求书中公布了:1.一种基于连续垂直扫描结构照明的三维形貌测量方法,其特征在于,包括: S1,采用连续垂直扫描结构照明,在每个垂直扫描位置对待测样品采集一张相移余弦条纹结构光图像; S2,利用时域上相邻的所述结构光图像进行背景光强估计,获取估计的背景光强作为均匀照明图像;同时,利用估计的背景光强对结构光图像进行背景光强修正,获取修正后的所述结构光图像; S3,对所述均匀照明图像进行高通滤波,得到待测样品的高频在焦信息;对修正后的所述结构光图像进行低通滤波,得到待测样品的低频在焦信息;对高频在焦信息和低频在焦信息进行融合,得到待测样品的光学层析图像; S4,基于所述光学层析图像,获取待测样品的三维形貌; S1具体包括: 预设多张具有固定相移量的余弦条纹图案,在每个垂直扫描位置投影一张所述余弦条纹图案至待测样品表面,且在对待测样品的扫描过程中,多张所述余弦条纹图案依次循环进行投影; S2中利用时域上相邻的所述结构光图像进行背景光强估计,获取估计的背景光强作为均匀照明图像,具体包括: 对于任一垂直扫描位置,以该任一垂直扫描位置为中心前后取多张相邻的所述结构光图像; 对多张相邻的所述结构光图像求均值并对均值进行滤波,获取任一扫描位置估计的背景光强作为均匀照明图像; 其中,多张相邻的所述结构光图像的数量与预设的所述余弦条纹图案的数量一致; 对高频在焦信息和低频在焦信息进行融合,得到待测样品的光学层析图像具体如下式所示: 其中,HiLo表示光学层析图像;表示调整因子;in,Hi表示层析响应图像中的高频在焦信息;in,Lo表示层析响应图像中的低频在焦信息;,为像素坐标;LP[.]表示高斯低通滤波;HP[.]=1-LP[.]est表示均匀照明图像;表示对修正后的所述结构光图像计算得到的对比度;表示结构光图像。
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