西安奕斯伟材料科技股份有限公司袁力军获国家专利权
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龙图腾网获悉西安奕斯伟材料科技股份有限公司申请的专利一种识别晶圆的线缺陷的方法、装置、设备及介质获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119812025B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-14发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411782130.5，技术领域涉及：H01L21/66；该发明授权一种识别晶圆的线缺陷的方法、装置、设备及介质是由袁力军;衡鹏设计研发完成，并于2024-12-05向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种识别晶圆的线缺陷的方法、装置、设备及介质在说明书摘要公布了：本公开提供了一种识别晶圆的线缺陷的方法、装置、设备及介质；所述方法包括：采集经预处理的待测晶圆上的每个采样点的应力波动数据；根据每个采样点的应力波动数据从所有采样点中选取出候选采样点；基于候选采样点构建线状的连通区域；根据线状的连通区域内的所有候选采样点的应力波动数据判定线状的连通区域是否为线缺陷。
本发明授权一种识别晶圆的线缺陷的方法、装置、设备及介质在权利要求书中公布了：1.一种识别晶圆的线缺陷的方法，其特征在于，所述方法包括： 采集经预处理的待测晶圆上的每个采样点的应力波动数据； 根据所述每个采样点的应力波动数据从所有采样点中选取出候选采样点； 基于所述候选采样点构建线状的连通区域； 根据所述线状的连通区域内的所有候选采样点的应力波动数据判定所述线状的连通区域是否为线缺陷； 其中，所述预处理包括： 提供一晶圆； 根据所述晶圆的notch方向将所述晶圆进行旋转以使得所述晶圆的晶向[110]处于晶圆表面的水平或竖直方向； 将旋转后的晶圆按照设定的边缘去除值进行去边处理，获得所述待测晶圆； 所述根据所述每个采样点的应力波动数据从所有采样点中选取出候选采样点，包括： 根据所述每个采样点的应力波动数据获取每个采样点对应的最高峰的峰值绝对值和半峰宽FWHM； 将所述每个采样点对应的最高峰的峰值绝对值和半峰宽FWHM分别与第一判定区间和第二判定区间进行比较； 当所述每个采样点对应的最高峰的峰值绝对值和半峰宽FWHM均分别处于所述第一判定区间和所述第二判定区间时，确定所述采样点为候选采样点。
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