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龙图腾网获悉无锡旭邦精密机械有限公司申请的专利一种晶圆片传送载具获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119833453B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-14发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411813110.X，技术领域涉及：H01L21/677；该发明授权一种晶圆片传送载具是由宋文设计研发完成，并于2024-12-11向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种晶圆片传送载具在说明书摘要公布了：本发明属于晶片运输技术领域，具体的说是一种晶圆片传送载具，包括引导滑轨，所述引导滑轨的内壁滑动连接有牵引部件，所述牵引部件的顶部固定连接有收纳部件，所述收纳部件的内部设置有运输圆晶片；所述收纳部件包括保护盖壳，所述保护盖壳外表面的中部固定连接有气悬部件。该装置可以通过收纳部件将运输圆晶片以相对密封的形式进行运输工作，防止运输圆晶片在运输时吸附灰尘杂质，起到有效的保护作用，由于运输圆晶片在对接壳体的内部进行运输工作时，处于相对悬浮的状态，所以运输圆晶片在对接壳体的内部不会发生相对摩擦，进而防止运输圆晶片在运输时因摩擦力被磨花导致报废受损的问题。

本发明授权一种晶圆片传送载具在权利要求书中公布了：1.一种晶圆片传送载具，包括引导滑轨1，所述引导滑轨1的内壁滑动连接有牵引部件2，所述牵引部件2的顶部固定连接有收纳部件3，所述收纳部件3的内部设置有运输圆晶片4，其特征在于： 所述收纳部件3包括保护盖壳31，所述保护盖壳31外表面的中部固定连接有气悬部件32，所述保护盖壳31的内腔设置有内推部件33； 所述保护盖壳31包括对接壳体311，所述对接壳体311的内壁固定连接有内嵌转环314，所述内嵌转环314的内腔均匀开设有对接吸气口315，所述内嵌转环314的内壁均匀设置有探测内杆316； 所述对接壳体311内腔靠近内嵌转环314的一侧均匀开设有竖直贯穿口312，所述对接壳体311内腔靠近轴心处的一侧均匀开设有斜向贯穿口313； 所述气悬部件32包括引流电机321，所述引流电机321出气口的外表面固定连接有分流套筒322，所述分流套筒322的外表面通过分流口固定连接有空心外盘323，所述空心外盘323内腔的顶部均匀设置有竖直喷气管324，所述空心外盘323的内腔均匀开设有容纳贯穿口325； 所述对接壳体311的数量为两个，所述竖直喷气管324的顶端通过竖直贯穿口312延伸至对接壳体311的内部，所述空心外盘323的外表面与对接壳体311外表面的中部固定连接，所述分流套筒322外表面的顶部与对接壳体311外表面的轴心处固定连接； 所述探测内杆316的一端与内嵌转环314的内壁固定连接，所述探测内杆316的另一端延伸至对接壳体311的内部，所述内嵌转环314外表面的顶部与保护盖壳31外表面的顶部固定连接； 所述内推部件33包括控制外环331，所述控制外环331的上表面均匀设置有竖直插筒332，所述竖直插筒332内腔的顶部固定连接有斜向插管333，且斜向插管333的顶端通过斜向贯穿口313延伸至对接壳体311的内部。

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