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广州正禾光电科技有限公司孙刚获国家专利权

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龙图腾网获悉广州正禾光电科技有限公司申请的专利一种LED灯生产用芯片刻蚀机获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN119864298B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-14发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202510045187.5,技术领域涉及:H01L21/67;该发明授权一种LED灯生产用芯片刻蚀机是由孙刚;冯运娜;施宗闩设计研发完成,并于2025-01-13向国家知识产权局提交的专利申请。

一种LED灯生产用芯片刻蚀机在说明书摘要公布了:本发明公开了一种LED灯生产用芯片刻蚀机,涉及芯片刻蚀机技术领域,其包括U型支座、焊接于U型支座顶部外壁的刻蚀箱、旋转式芯片圆晶定位机构、进气机构、气体混合机构、风向调节机构和废气排放机构,所述旋转式芯片圆晶定位机构包括真空吸附盘、抽气管、固定罩、伺服电机、主动锥齿轮、固定套装于抽气管上的从动锥齿轮和固定安装于U型支座底部内壁的真空泵。本发明通过伺服电机驱动主动锥齿轮转动,随后与主动锥齿轮啮合的从动锥齿轮会带动抽气管转动,进而真空吸附盘上固定的芯片圆晶能够转动,且伺服电机能够精确控制芯片圆晶的旋转速度,这样一来能够确保芯片圆晶各个部位受到均匀的刻蚀,提高芯片圆晶的刻蚀加工效率。

本发明授权一种LED灯生产用芯片刻蚀机在权利要求书中公布了:1.一种LED灯生产用芯片刻蚀机,包括U型支座1和焊接于U型支座1顶部外壁的刻蚀箱2,所述刻蚀箱2的前边铰接有密封箱门38,且密封箱门38的前边外壁固定安装有控制面板39,其特征在于,还包括旋转式芯片圆晶定位机构、进气机构、气体混合机构、风向调节机构和废气排放机构; 所述旋转式芯片圆晶定位机构包括设于刻蚀箱2内的真空吸附盘3、固定连通于真空吸附盘3底部中心处的抽气管4、固定连接于刻蚀箱2底部外壁的固定罩5、固定安装于固定罩5侧壁的伺服电机6、固定套装于伺服电机6输出轴上的主动锥齿轮7、固定套装于抽气管4上的从动锥齿轮8和固定安装于U型支座1底部内壁的真空泵9; 所述进气机构包括固定连通于刻蚀箱2顶部的安装罩12、固定连通于安装罩12顶部的进气罩13、固定连通于进气罩13顶部的多个气体输送管和依次安装于气体输送管上的多个进气电磁阀14,且风向调节机构包括位于气体混合机构下方的三个导风组件和一个同步操控组件; 所述气体混合机构包括驱动组件、固定连接于安装罩12顶部外壁的安装壳15、转动安装于安装罩12内的两个传动轴16和依次固定套装于两个传动轴16底端并位于安装罩12内的两个气体混合叶片17; 所述真空吸附盘3的内部为中空结构,且真空吸附盘3的顶部开设有均匀分布的吸附孔10,所述伺服电机6的输出轴贯穿固定罩5的一侧,且主动锥齿轮7和从动锥齿轮8相互啮合并均位于固定罩5内; 所述抽气管4还通过轴承与刻蚀箱2的底部内壁贯穿连接,且抽气管4的底端贯穿固定罩5的底部,所述真空泵9的抽气端和抽气管4的底端之间设有同一个旋转接头11,旋转接头11的旋转部分与抽气管4的底端连接,且旋转接头11的固定部分与真空泵9的抽气端连接; 所述驱动组件包括依次固定套装于两个传动轴16顶端的两个传动齿轮18、固定安装于安装壳15顶部外壁的驱动电机19和固定套装于驱动电机19输出轴上的驱动齿轮20,驱动电机19的输出轴贯穿安装壳15的顶部,驱动齿轮20位于两个传动齿轮18之间,且两个传动齿轮18均与驱动齿轮20啮合; 三个所述导风组件呈等距离分布设置,且三个导风组件均包括转动安装于安装罩12内的轴体21、固定连接于轴体21上并位于安装罩12内的导风条22和固定套装于轴体21一端并位于安装罩12外的蜗轮23; 所述同步操控组件包括固定连接于安装罩12后边外壁的固定架24、转动安装于固定架24内的驱动轴25、固定套装于驱动轴25上的三个蜗杆26、焊接于安装罩12侧壁的电机支护板27和固定安装于电机支护板27外壁上的操控电机28,操控电机28的输出轴通过联轴器与驱动轴25的一端同轴固定连接,且三个蜗杆26分别与三个蜗轮23相互啮合; 所述废气排放机构包括焊接于U型支座1侧壁的支撑板29、固定连接于支撑板29顶部外壁的净化箱30、固定安装于净化箱30一侧的排气扇31、固定连通于净化箱30另一侧的通气罩32和设于净化箱30上的可拆式净化组件,且通气罩32通过废气排出管与刻蚀箱2的一侧连通; 所述可拆式净化组件包括与净化箱30相适配的箱盖33、依次插接于净化箱30内的三个活性炭滤芯34、依次固定于箱盖33底部四角外壁的四个铁质插销35、依次开设于净化箱30顶部四角位置处的四个定位槽口36和依次固定于四个定位槽口36底部内壁的四个电磁铁片37,四个所述铁质插销35分别插接于四个定位槽口36内,且四个铁质插销35还分别与四个电磁铁片37固定吸合。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人广州正禾光电科技有限公司,其通讯地址为:510000 广东省广州市白云区石门街朝阳亭石南路12号工业区南2号厂房;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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