深圳市金灿灿信息技术有限公司岳明雷获国家专利权
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龙图腾网获悉深圳市金灿灿信息技术有限公司申请的专利一种用于晶圆存储的智能储存设备及使用方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN119943737B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-14发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202510112855.1,技术领域涉及:H01L21/683;该发明授权一种用于晶圆存储的智能储存设备及使用方法是由岳明雷;王梅清;董妮设计研发完成,并于2025-01-24向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种用于晶圆存储的智能储存设备及使用方法在说明书摘要公布了:本发明涉及晶圆智能储存技术领域,尤其涉及一种用于晶圆存储的智能储存设备及使用方法。其技术方案:包括安装有晶圆自动加工设备的设备底座和晶圆储存盒,设备底座侧壁下方固定有放置台,设备底座和放置台呈阶梯状,且均固定有接地防静电金属线,设备底座上通过步进电机转动连接有料盘,料盘靠近晶圆自动加工设备一侧插入晶圆自动加工设备内,料盘外侧伸出设备底座外边缘,料盘外围均匀开设有存料槽,晶圆储存盒设置在放置台上。本发明利用脸盘将晶圆从晶圆自动加工设备取出后,利用转动杆进行自动翻转至直立,然后利用存料板的升降,可以将其稳定的放入晶圆储存盒内,实现自动化尺寸的目的,无需人工进行拿取存放,提高了工作效率。
本发明授权一种用于晶圆存储的智能储存设备及使用方法在权利要求书中公布了:1.一种用于晶圆存储的智能储存设备,包括安装有晶圆自动加工设备11的设备底座1和晶圆储存盒8,其特征在于:所述设备底座1侧壁下方固定有放置台5,所述设备底座1和放置台5呈阶梯状,且均固定有接地防静电金属线,所述设备底座1上通过步进电机21转动连接有料盘2,所述料盘2靠近晶圆自动加工设备11一侧插入晶圆自动加工设备11内,所述料盘2外侧伸出设备底座1外边缘,所述料盘2外围均匀开设有存料槽22,所述晶圆储存盒8设置在放置台5上,所述放置台5上且与晶圆储存盒8相对应位置通过驱动组件6滑动连接有一对立杆7,所述立杆7之间且位于晶圆尺寸和上方固定有安装板71,所述安装板71靠近料盘2一侧表面安装有存料板72,所述存料板72上安装有第二真空吸盘73,所述放置台5上且位于料盘2与晶圆储存盒8之间设置有翻转组件;所述翻转组件包括固定立板3、升降立板4、转动杆41和翻转板42,所述固定立板3固定在放置台5上,且位于料盘2与晶圆储存盒8之间,所述升降立板4滑动连接在固定立板3外侧臂,所述转动杆41转动连接在升降立板4顶端,所述转动杆41端部位于存料槽22下方,且与翻转板42固定连接,所述翻转板42上端固定有第一真空吸盘43;所述存料槽22外侧壁开设有外边槽23,所述外边槽23宽度大于转动杆41宽度。
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