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龙图腾网获悉浙江大学申请的专利一种高集成的微机械加速度计-陀螺仪获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119986041B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-14发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510138998.X，技术领域涉及：G01P15/125；该发明授权一种高集成的微机械加速度计-陀螺仪是由马志鹏;董磊锘设计研发完成，并于2025-02-08向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种高集成的微机械加速度计-陀螺仪在说明书摘要公布了：本发明公开了一种高集成的微机械加速度计‑陀螺仪，属于惯性传感技术领域。本发明通过共用机械结构和电极，通过在对称平行板电容结构上面施加一对符号相反的直流电压、谐振电压和载波电压，结合PLL相位闭环控制方法，可同时实现三轴结构的谐振驱动、幅度检测和频率检测，经过加权融合和控制器计算可得到力平衡反馈电压，维持质量块位置恒定，此时反馈电压反映加速度大小；同时，三轴谐振结构受到科氏力耦合作用，两正交轴谐振频率之和包含第三个正交轴的角速度信息，通过与一个频率为两频率之差的正弦信号进行乘法解调和低通滤波计算可得到角速度大小。本发明中微机械加速度计‑陀螺仪集成方法简单，同时可有效抑制温度漂移。

本发明授权一种高集成的微机械加速度计-陀螺仪在权利要求书中公布了：1.一种高集成的微机械加速度计-陀螺仪，其特征在于，采用XYZ三自由度质量-弹簧-阻尼系统作为共用敏感结构，包括： 质量块组件，其关于Y轴对称，包括中间质量块1、位于中间质量块内部的扭转质量块41和关于中心对称分布在中间质量块周围的一对X轴质量块21和一对Y轴质量块31；所述的X轴质量块21和Y轴质量块31分别通过Y轴解耦弹簧36和X轴解耦弹簧26连接中间质量块1，且分别通过X轴质量块支撑弹簧27和Y轴质量块支撑弹簧37连接锚区；所述的扭转质量块41通过一对Y轴扭转弹性梁46连接中间质量块1；所述的质量块组件位于同一XY平面； XYZ轴对称平行板电容器，包括位于X轴负向的一对第一X轴对称平行板电极22、位于X轴正向的一对第二X轴对称平行板电极23、位于Y轴负向的一对第一Y轴对称平行板电极32、位于Y轴正向的一对第二Y轴对称平行板电极33、以及位于Z轴负向的一对第一Z轴对称平行板电极42和一对第二Z轴对称平行板电极43； XYZ轴驱动器，包括XY轴变面积梳齿驱动器和Z轴变间距驱动器，所述的XY轴变面积梳齿驱动器包括位于X轴负向的第一X轴变面积梳齿电极24、位于X轴正向的第二X轴变面积梳齿电极25、位于Y轴负向的第一Y轴变面积梳齿电极34、以及位于Y轴正向的第二Y轴变面积梳齿电极35；所述的Z轴变间距驱动器包括位于Z轴负向的一对第一Z轴变间距驱动电极44和一对第二Z轴变间距驱动电极45； 所述的第一X轴对称平行板电极22和第二X轴对称平行板电极23固定在锚区，关于Y轴对称分布； 第一X轴变面积梳齿电极24和第二X轴变面积梳齿电极25固定在锚区，关于Y轴对称分布； 第一X轴对称平行板电极22与安装在一个X轴质量块21左侧的移动平行板电极形成平行板电容器，且第一X轴变面积梳齿电极24与同一个X轴质量块21右侧的移动梳齿形成梳齿电容； 第二X轴对称平行板电极23与安装在另一个X轴质量块21右侧的移动平行板电极形成平行板电容器，且第二X轴变面积梳齿电极25与同一个X轴质量块21左侧的移动梳齿形成梳齿电容。

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