株式会社荏原制作所关正也获国家专利权
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龙图腾网获悉株式会社荏原制作所申请的专利镀覆装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120187899B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-14发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202380015598.9，技术领域涉及：C25D21/12；该发明授权镀覆装置是由关正也;下山正;奥园贵久;樋渡良辅设计研发完成，并于2023-11-14向国家知识产权局提交的专利申请。
本镀覆装置在说明书摘要公布了：检测形成于阳极与基板之间的电场的紊乱。镀覆装置10包括：镀覆槽50，其用于收容镀覆液Q；阳极21，其配置于镀覆槽50内；基板支架40，其用于以被镀覆面WF1与阳极21对置的方式保持基板WF；阳极遮罩70，其配置于阳极21与基板支架40之间，具有贯通阳极21侧和基板支架40侧的阳极开口70a，该阳极遮罩70构成为能够调节阳极开口70a的大小；调节板30，其配置于阳极遮罩70与基板支架40之间；测定电极74，其配置于阳极遮罩70与调节板30之间；基准电极75，其配置在收容于镀覆槽50的镀覆液Q中；以及测量器76，其测量基准电极75与测定电极74之间的电压。
本发明授权镀覆装置在权利要求书中公布了：1.一种镀覆装置，其特征在于，包括： 镀覆槽，所述镀覆槽用于收容镀覆液； 阳极，所述阳极配置于所述镀覆槽内； 基板支架，所述基板支架用于以被镀覆面与所述阳极对置的方式保持基板； 阳极遮罩，所述阳极遮罩配置于所述阳极与所述基板支架之间，具有贯通所述阳极侧和所述基板支架侧的阳极开口，所述阳极遮罩构成为能够调节所述阳极开口的大小； 电场调节部件，所述电场调节部件配置于所述阳极遮罩与所述基板支架之间； 测定电极，所述测定电极配置于所述阳极遮罩与所述电场调节部件之间； 基准电极，所述基准电极配置在收容于所述镀覆槽的镀覆液中；以及 测量器，所述测量器用于测量所述基准电极与所述测定电极之间的电压。
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