北京奥普托科微电子技术有限公司王珊珊获国家专利权
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龙图腾网获悉北京奥普托科微电子技术有限公司申请的专利图像处理方法、光学检测系统及电子设备获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN120318160B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-14发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202510344795.6,技术领域涉及:G06T7/00;该发明授权图像处理方法、光学检测系统及电子设备是由王珊珊;石卓;蒋健君设计研发完成,并于2025-03-21向国家知识产权局提交的专利申请。
本图像处理方法、光学检测系统及电子设备在说明书摘要公布了:本申请公开了一种图像处理方法、光学检测系统及电子设备,涉及半导体精密检测技术领域。该方法在采集每个图形单元时,获取待检测晶圆在第一方向上的第一位置信息,并通过与待检测晶圆的初始位置信息比较,确定每个检测图像在晶圆抖动时发生的第一偏差,通过该第一偏差可以实现对待检测晶圆的初始检测图像中的每个检测图像进行纠正复位,从而通过软件算法解决了因晶圆抖动出现的检测图像扭曲的技术问题,与提升硬件设备性能相比,本申请实施例提供的图像处理方法节约了硬件设备提升所需的成本,消除了硬件设备性能提升上限对晶圆检测图像纠正的限制。
本发明授权图像处理方法、光学检测系统及电子设备在权利要求书中公布了:1.一种图像处理方法,其特征在于,包括: 获取待检测晶圆的初始检测图像序列以及所述待检测晶圆在第一方向上的初始位置信息;所述初始检测图像序列包括多个检测图像;所述多个检测图像是所述待检测晶圆沿第二方向运动的过程中依次采集得到的,所述第一方向与所述第二方向垂直; 对于每个所述检测图像,获取采集所述检测图像时所述待检测晶圆在所述第一方向上的第一位置信息,并确定第一偏差,所述第一偏差为所述第一位置信息与所述初始位置信息之间的偏差; 基于各个所述检测图像对应的第一偏差对所述初始检测图像序列进行调整,得到调整后的检测图像序列; 所述基于各个检测图像对应的第一偏差对所述初始检测图像序列进行调整,得到调整后的检测图像序列,包括:基于所述多个检测图像对应的所述第一偏差中的最大值和最小值,确定待生成的所述调整后的检测图像序列在所述第一方向上的有效尺寸信息;对于每个所述检测图像,基于所述检测图像对应的第一偏差对所述检测图像进行平移,以使平移后的所述检测图像的位置信息与所述初始位置信息对应;基于所述有效尺寸信息对平移后的所述检测图像进行裁剪,得到裁剪后的所述检测图像;基于各个裁剪后的所述检测图像,得到所述调整后的检测图像序列。
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