新毅东(北京)科技有限公司张琪获国家专利权
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龙图腾网获悉新毅东(北京)科技有限公司申请的专利偏振像差补偿参数的获取方法、系统及光刻机获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120353103B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-14发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510839284.1，技术领域涉及：G03F7/20；该发明授权偏振像差补偿参数的获取方法、系统及光刻机是由张琪;符友银设计研发完成，并于2025-06-23向国家知识产权局提交的专利申请。
本偏振像差补偿参数的获取方法、系统及光刻机在说明书摘要公布了：本发明提供一种偏振像差补偿参数的获取方法、系统及光刻机，涉及偏振照明技术领域。所述方法包括获取光刻机系统对应的穆勒矩阵序列和环境参数序列，所述穆勒矩阵序列和所述环境参数序列的时序是对齐的；对所述穆勒矩阵序列和所述环境参数序列分别进行特征提取并将同一时序的特征进行组合，得到特征张量序列；根据所述特征张量序列确定目标补偿参数，所述目标补偿参数用于对所述光刻机系统的偏振像差进行补偿。该方法能够提升获取偏振像差补偿参数的准确性，从而进一步提升系统整体补偿准确率与成像精度。
本发明授权偏振像差补偿参数的获取方法、系统及光刻机在权利要求书中公布了：1.一种偏振像差补偿参数的获取方法，其特征在于，包括： 获取光刻机系统对应的穆勒矩阵序列和环境参数序列，所述穆勒矩阵序列和所述环境参数序列的时序是对齐的，所述穆勒矩阵序列用于表征偏振光在所述光刻机系统中传输的变化情况，所述环境参数序列用于表征对所述光刻机系统稳定性具有影响的环境参数的变化情况； 对所述穆勒矩阵序列和所述环境参数序列分别进行特征提取并将同一时序的特征进行组合，得到特征张量序列； 根据所述特征张量序列确定目标补偿参数，所述目标补偿参数用于对所述光刻机系统的偏振像差进行补偿。
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