山东大学崔鹏获国家专利权
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龙图腾网获悉山东大学申请的专利一种基于双栅及介质层调控的增强型氮化镓器件及其制造方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN120379303B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-14发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202510864711.1,技术领域涉及:H10D30/47;该发明授权一种基于双栅及介质层调控的增强型氮化镓器件及其制造方法是由崔鹏;张铁瀛;韩吉胜;汉多科·林纳威赫;徐现刚设计研发完成,并于2025-06-26向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种基于双栅及介质层调控的增强型氮化镓器件及其制造方法在说明书摘要公布了:本发明涉及一种基于双栅及介质层调控的增强型氮化镓器件及其制造方法,属于半导体器件技术领域。器件由下到上依次包括衬底、GaN缓冲层、GaN沟道层、AlN插层、AlGaN势垒层和P‑GaN帽层,P‑GaN帽层上侧和P‑GaN帽层两侧的AlGaN势垒层上设置有介质层,介质层两侧分别设置有源极金属和漏极金属,源极金属和漏极金属底部延伸至GaN缓冲层,靠近源极金属一侧的介质层上方和P‑GaN帽层上方的介质层上均设置有栅极金属。本发明有效提高了击穿电压和栅极耐压水平,并显著降低了栅极漏电流,实现整体器件性能的优化和可靠性提升。
本发明授权一种基于双栅及介质层调控的增强型氮化镓器件及其制造方法在权利要求书中公布了:1.一种基于双栅及介质层调控的增强型氮化镓器件,其特征在于,由下到上依次包括衬底、GaN缓冲层、GaN沟道层、AlN插层、AlGaN势垒层和P-GaN帽层,P-GaN帽层上侧和P-GaN帽层两侧的AlGaN势垒层上设置有介质层,介质层两侧分别设置有源极金属和漏极金属,源极金属和漏极金属底部延伸至GaN缓冲层,靠近源极金属一侧的介质层上方和P-GaN帽层上方的介质层上均设置有栅极金属; 栅极金属宽度小于P-GaN帽层的宽度,P-GaN帽层上侧介质层上的栅极金属靠近漏极金属,P-GaN帽层上侧介质层与栅极金属宽度相同; P-GaN帽层上侧的栅极金属和介质层与P-GaN帽层一侧对齐,另一个栅极金属贴合P-GaN帽层侧壁。
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