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龙图腾网获悉深圳市云在上半导体材料有限公司;湖南湘芯新材料有限公司申请的专利聚焦环制备用气体通入装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120443146B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-14发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510922307.5，技术领域涉及：C23C16/455；该发明授权聚焦环制备用气体通入装置是由张桂华;刘畅;伊小念;王天意设计研发完成，并于2025-07-04向国家知识产权局提交的专利申请。

本聚焦环制备用气体通入装置在说明书摘要公布了：本发明提供了聚焦环制备用气体通入装置，该气体通入装置包括：通气管；调控管，所述调控管滑动安装在通气管内腔；齿条板，所述齿条板滑动安装在通气管侧壁，所述齿条板底端通过固定杆与调控管连接；锁紧调控单元，所述锁紧调控单元安装在通气管侧表面；伸长量辅助机构，所述伸长量辅助机构安装在齿条板顶端侧表面，密封补偿单元，所述密封补偿单元安装在拖座顶侧，且拖座安装在固定杆末端，所述密封补偿单元顶部安装有密封座，且密封座顶侧安装有套接在调控管底端表面的密封圈。提高密封圈与通气管之间的密封效果，保障通气管道中干净，保障下次通入的气体不受废气的影响，保障后续聚焦环制备反应的精准度，保障聚焦环的制备质量。

本发明授权聚焦环制备用气体通入装置在权利要求书中公布了：1.一种聚焦环制备用气体通入装置，其特征在于，所述聚焦环制备用气体通入装置包括： 通气管1； 调控管7，所述调控管7滑动安装在通气管1内腔； 齿条板4，所述齿条板4滑动安装在通气管1侧壁，所述齿条板4底端通过固定杆6与调控管7连接； 锁紧调控单元，所述锁紧调控单元安装在通气管1侧表面，所述锁紧调控单元用于调控管7的伸长移动调控以及调控后的锁紧； 伸长量辅助机构5，所述伸长量辅助机构5安装在齿条板4顶端侧表面，所述伸长量辅助机构5用于齿条板4移动深度的调控和导向； 密封补偿单元8，所述密封补偿单元8安装在拖座9顶侧，且拖座9安装在固定杆6末端，所述密封补偿单元8顶部安装有密封座10，且密封座10顶侧安装有套接在调控管7底端表面的密封圈11； 所述锁紧调控单元为锁紧调控机构3，所述锁紧调控机构3包括安装架31和第一驱动齿轮36，所述安装架31固定安装在通气管1中部外侧表面，所述安装架31表面安装有第一驱动轴35，所述第一驱动轴35靠近安装架31的一端安装有转盘32，所述第一驱动轴35远离安装架31的一端安装有第一驱动齿轮36，所述第一驱动齿轮36一侧设置的齿条板4啮合连接，所述转盘32用于手动驱动第一驱动齿轮36的操作端； 所述伸长量辅助机构5包括刻度杆55，所述刻度杆55顶端设置有安装头54，所述安装头54可拆卸安装在安装台53表面，所述安装台53固定安装在齿条板4顶端侧表面，所述齿条板4顶端另一侧表面固定安装有导向框52，所述导向框52内腔贯穿有导向柱51，所述导向柱51安装在通气管1侧表面开设的开槽中，所述导向柱51用于辅助齿条板4导向移动； 其中，所述锁紧调控单元驱动调控管7伸缩移动，所述密封圈11用于调控管7缩入通气管1中后对通气管1底端的密封，通过密封补偿单元8调控通气管1与调控管7底端的密封性。

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