中国科学院光电技术研究所柴芳芳获国家专利权
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龙图腾网获悉中国科学院光电技术研究所申请的专利一种用于多子束低阶像差校正的控制方法及装置获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN120447204B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-14发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202510962273.2,技术领域涉及:G02B27/00;该发明授权一种用于多子束低阶像差校正的控制方法及装置是由柴芳芳;赵旺;王帅;谭毅;刘生虎;孔令曦;官泓利设计研发完成,并于2025-07-14向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种用于多子束低阶像差校正的控制方法及装置在说明书摘要公布了:本发明公开了一种用于多子束低阶像差校正的控制方法及装置,属于波前校正技术领域,该方法包括:使用哈特曼波前传感器采集得到光斑阵列图像中待校正波前在X和Y方向的波前斜率;定义子束对应子孔径筛选矩阵及子束闭环选择矩阵,根据子束闭环选择矩阵及子束对应子孔径筛选矩阵对阵列光束进行区域划分,并对探测到的波前斜率进行分区处理;根据波前复原算法解算得到需要闭环的子束的像差校正计算电压;通过PI控制得到子束在第次迭代的控制电压,根据子束闭环选择矩阵得到系统控制电压,实现子束并行闭环控制。本发明仅用一次乘法运算就可实现单个、多个子镜独立或协同控制,减小了系统运算的计算量,提升了校正速率。
本发明授权一种用于多子束低阶像差校正的控制方法及装置在权利要求书中公布了:1.一种用于多子束低阶像差校正的控制方法,其特征在于,包括: 步骤1,使用哈特曼波前传感器采集得到光斑阵列图像中待校正波前在X和Y方向的波前斜率和; 步骤2,定义子束对应子孔径筛选矩阵及子束闭环选择矩阵,根据子束闭环选择矩阵及子束对应子孔径筛选矩阵对阵列光束进行区域划分,并对探测到的波前斜率和进行分区处理; 步骤3,根据波前复原算法解算得到需要闭环的子束的像差校正计算电压; 步骤4,通过PI控制得到子束在第次迭代的控制电压,根据子束闭环选择矩阵得到系统控制电压,实现子束并行闭环控制。
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