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龙图腾网获悉杭州纳境科技有限公司申请的专利阵列光源超表面投射器件的性能自动检测方法及装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120558535B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-14发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202511083998.0，技术领域涉及：G01M11/02；该发明授权阵列光源超表面投射器件的性能自动检测方法及装置是由王玉玺;杨传法;邢圆圆;龚永兴设计研发完成，并于2025-08-04向国家知识产权局提交的专利申请。

本阵列光源超表面投射器件的性能自动检测方法及装置在说明书摘要公布了：本发明公开了一种阵列光源超表面投射器件的性能自动检测方法及装置，方法包括：接收初步采集的阵列散斑图像并计算轴向偏移量，根据轴线偏移量发送平移指令至三轴晶圆样品载物台以使阵列散斑精确对中，获取调整后的阵列散斑对中图像并进行掩膜版分割得到图像点阵信息，提取对应的散斑特征信息后对阵列散斑对中图像进行对比度分析，得到散斑对比度信息，将散斑特征信息与散斑对比度信息进行组合作为性能综合检测结果。上述方法，通过计算轴向偏移量并实现散斑的精确对中，通过对比度分析及散斑特征提取，实现对散斑对比度的快速准确计算及散斑特征信息的快速提取，从而获取得到对超表面投射器件进行综合性能检测的性能综合检测结果。

本发明授权阵列光源超表面投射器件的性能自动检测方法及装置在权利要求书中公布了：1.一种阵列光源超表面投射器件的性能自动检测方法，其特征在于，所述性能自动检测方法应用于检测终端中，所述检测终端分别与阵列光源、三轴晶圆样品载物台及视觉相机建立通信连接以实现数据信息的传输，所述阵列光源、所述三轴晶圆样品载物台、成像光屏及所述视觉相机沿同一光轴依次排列设置，所述方法包括： 接收所述视觉相机对所述成像光屏进行图像采集得到的阵列散斑图像，根据预置的凸包矩形检测算法计算与所述阵列散斑图像对应的轴向偏移量； 根据所述轴向偏移量发送对应的平移指令至所述三轴晶圆样品载物台，以驱动所述三轴晶圆样品载物台平移并实现阵列散斑精确对中； 获取所述视觉相机采集得到的进行阵列散斑对中后的阵列散斑对中图像，根据预置的分割算法对所述阵列散斑对中图像进行掩膜版分割，以获取得到对应的图像点阵信息； 根据预置的提取规则及所述图像点阵信息对所述阵列散斑对中图像进行散斑特征提取，以得到对应的散斑特征信息； 根据预置的散斑对比度算法及所述散斑特征信息对所述阵列散斑对中图像进行对比度分析，得到对应的散斑对比度信息； 将所述散斑特征信息与所述散斑对比度信息进行组合，得到对应的性能综合检测结果。

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