广立微(上海)技术有限公司王迪获国家专利权
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龙图腾网获悉广立微(上海)技术有限公司申请的专利用于后段金属工艺监控的测试结构、测试电路和测试芯片获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120629729B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-14发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202511115611.5，技术领域涉及：G01R27/26；该发明授权用于后段金属工艺监控的测试结构、测试电路和测试芯片是由王迪设计研发完成，并于2025-08-11向国家知识产权局提交的专利申请。
本用于后段金属工艺监控的测试结构、测试电路和测试芯片在说明书摘要公布了：本发明涉及一种用于后段金属工艺监控的测试结构、测试电路和测试芯片，包括同层的多根第一金属线、多根第二金属线和至少一根第三金属线；所述第一金属线、第二金属线和第三金属线都沿着第一方向延伸，且所述第一金属线和第二金属线间隔交错布置，第三金属线布置在所述第四金属线和第五金属线之间；所述第一金属线的一端、第二金属线的一端各自延伸共接至沿着第二方向延伸的第四金属线、第五金属线，将所述第四金属线作为第一引脚，将所述第五金属线作为第二引脚；所述第三金属线的两端各设置有至少一个第三引脚。通过可同时监控金属电阻和MOM电容的测试结构设计，可以在相同的位置监控金属的电阻和电容，达到对后段金属制备工艺的监控。
本发明授权用于后段金属工艺监控的测试结构、测试电路和测试芯片在权利要求书中公布了：1.一种用于后段金属工艺监控的测试结构，其特征在于，包括同层的多根第一金属线、多根第二金属线和至少一根第三金属线； 所述第一金属线和第二金属线都沿着第一方向延伸，且所述第一金属线和第二金属线间隔交错布置； 所述第一金属线的一端分别延伸共接至沿着第二方向延伸的第四金属线，形成正梳状结构，并将所述第四金属线作为第一引脚； 所述第二金属线的一端分别延伸共接至沿着第二方向延伸的第五金属线，形成反梳状结构，并将所述第五金属线作为第二引脚； 所述第三金属线沿着第一方向延伸，且布置在所述第四金属线和第五金属线之间；所述第三金属线的两端各设置有至少一个第三引脚，将每根第三金属线上的多个第三引脚作为一个第三引脚组； 所述第一引脚和第二引脚，用于测试所述同层金属的电容值； 所述第三金属线上的第三引脚组，用于测试所述第三金属线两端引脚之间的电阻值。
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