无锡晶名光电科技有限公司程鹏获国家专利权
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龙图腾网获悉无锡晶名光电科技有限公司申请的专利一种基于物联网的半导体生产线安全生产管理系统获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN120630919B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-14发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202511124037.X,技术领域涉及:G05B19/418;该发明授权一种基于物联网的半导体生产线安全生产管理系统是由程鹏设计研发完成,并于2025-08-12向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种基于物联网的半导体生产线安全生产管理系统在说明书摘要公布了:本发明涉及温度测量技术领域,提出了一种基于物联网的半导体生产线安全生产管理系统,包括:采集多次加工各位置若干时刻的温度数据,得到各位置相同时刻不同次加工的温度数据组成的同时刻温度集合;通过类间方差得到各位置各时刻的同时刻温度集合的分界温度;依据分界温度划分上限温度集合及下限温度集合,并获取上限温度集合及下限温度集合的基本阈值占比;得到各位置各时刻的高温程度;得到各位置各时刻的温度稳定概率;得到各位置各时刻的温度监测阈值范围;实时对加工过程生产线温度进行监测。本发明旨在解决静态温度标准难以对半导体生产线高温工作过程有效监测异常而影响安全生产的问题。
本发明授权一种基于物联网的半导体生产线安全生产管理系统在权利要求书中公布了:1.一种基于物联网的半导体生产线安全生产管理系统,其特征在于,该系统包括: 温度数据采集模块,用于在半导体生产线多个位置布置传感器,采集多次加工各位置若干时刻的温度数据,得到各位置相同时刻不同次加工的温度数据组成的同时刻温度集合; 温度异常分析模块,用于对同时刻温度集合中温度数据通过四舍五入得到若干近似温度,统计获取各近似温度的出现概率;分析同时刻温度集合中各近似温度作为分界下两类近似温度的出现概率和表现及近似温度均值表现,通过类间方差计算得到各近似温度的分界合适程度,进而得到各位置各时刻的同时刻温度集合的分界温度; 依据分界温度将同时刻温度集合划分为上限温度集合及下限温度集合,结合各温度数据的出现频率,依据出现频率的不断累加以及在上限温度集合或下限温度集合的总出现频率中的占比,分别获取上限温度集合及下限温度集合的基本阈值占比;基于同时刻温度集合中温度数据与对应位置温度数据最大值的差异,得到各位置各时刻的高温程度; 依据相邻时刻的温度数据差异表现,结合同时刻温度集合,得到各位置各时刻的温度稳定概率;结合各位置各时刻的高温程度,以及上限温度集合与下限温度结合的基本阈值占比,得到各位置各时刻的上限阈值调整系数及下限阈值调整系数;在分界温度基础上得到各位置各时刻的温度监测阈值范围; 异常提示及可视化模块,用于在半导体生产线各位置依据温度监测阈值范围,实时对加工过程生产线温度进行监测,并通过可视化及蜂鸣器进行监测结果展示及温度异常提示。
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