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龙图腾网获悉上海陛通半导体能源科技股份有限公司申请的专利一种双温区晶圆加热器温度控制系统及控制方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120653045B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-14发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202511148593.0，技术领域涉及：G05D23/24；该发明授权一种双温区晶圆加热器温度控制系统及控制方法是由崔海红;宋维聪设计研发完成，并于2025-08-18向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种双温区晶圆加热器温度控制系统及控制方法在说明书摘要公布了：本发明公开了一种双温区晶圆加热器温度控制系统及控制方法，该系统包括晶圆加热器、主单元、测量单元和控制单元。晶圆加热器含内区加热盘和外区加热盘；测量单元含测温装置和电压电流测量装置；控制单元基于内电阻丝的加热温度及内加热线路电压电流值得出电阻温度系数，结合外加热线路电压电流值算出外电阻丝加热温度，进而调节对应继电器通断以控制两区温度。控制方法包括：获取内电阻丝加热温度及内、外加热线路电压电流值；基于上述数据得出内电阻丝电阻温度系数和外电阻丝加热温度；本发明实现了仅配备单温区测温传感器的双温区加热控制难题，实现了对晶圆加热器内、外温区温度的精准测量与控制。

本发明授权一种双温区晶圆加热器温度控制系统及控制方法在权利要求书中公布了：1.一种双温区晶圆加热器温度控制系统，其特征在于，包括： 晶圆加热器，包括内区加热盘和外区加热盘，所述内区加热盘和所述外区加热盘内分别设置有材质相同的内电阻丝和外电阻丝； 主单元，包括电源、第一继电器和第二继电器，所述电源通过所述第一继电器和所述内电阻丝电连接以形成内加热线路，所述电源通过所述第二继电器和所述外电阻丝电连接以形成外加热线路； 测量单元，包括测温装置和电压电流测量装置；所述测温装置设置于所述内区加热盘，用于获取所述内电阻丝的加热温度；所述电压电流测量装置电连接于所述内加热线路和所述外加热线路，用于获取所述内加热线路和所述外加热线路的电压电流值； 控制单元，电连接于所述第一继电器、所述第二继电器和所述测量单元；所述控制单元被配置为：基于所述内电阻丝的加热温度以及所述内加热线路的电压电流值，得出所述内电阻丝的电阻温度系数；基于所述外加热线路的电压电流值，结合所述电阻温度系数，得出所述外电阻丝的加热温度；基于所述内电阻丝的加热温度调节所述第一继电器的通断，以控制所述内区加热盘的温度，以及基于所述外电阻丝的加热温度调节所述第二继电器的通断，以控制所述外区加热盘的温度。

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