上海普达特半导体设备有限公司周玉云获国家专利权
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龙图腾网获悉上海普达特半导体设备有限公司申请的专利半导体混液系统获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223430260U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-14发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422070079.7，技术领域涉及：B01F35/71；该实用新型半导体混液系统是由周玉云;郭秉玺设计研发完成，并于2024-08-26向国家知识产权局提交的专利申请。
本半导体混液系统在说明书摘要公布了：本申请提供一种半导体混液系统，包括储液槽以及分别与储液槽连通的出液管道和至少两条进液管道：每条进液管道均包括通过管路依次连接的原液进液端口、流量控制单元、出液气动阀以及与储液槽连通的原液出液端口；所有出液气动阀均通过气管连接至第一电磁阀。化学液通过进液管道进入储液槽，并充分混合以配置清洗液，无需对各化学液管道加压，降低半导体混液系统的体积和成本。另一方面，半导体混液系统通过第一电磁阀控制所有出液气动阀同时打开且同时关闭，并通过流量控制单元精准控制各化学液的流量大小，进而精确控制各化学液进入储液槽的比例，使得配置的清洗液具有极高的精度，从而实现更好的清洗效果。
本实用新型半导体混液系统在权利要求书中公布了：1.一种半导体混液系统，其特征在于，包括储液槽以及分别与所述储液槽连通的出液管道和至少两条进液管道： 每条所述进液管道均包括通过管路依次连接的原液进液端口、流量控制单元、出液气动阀以及与所述储液槽连通的原液出液端口； 所述出液管道包括通过管路依次连接的混液进液端口、出液阀门及混液出液端口，所述混液进液端口与所述储液槽连通； 所有所述出液气动阀均通过气管连接至第一电磁阀。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人上海普达特半导体设备有限公司，其通讯地址为：200120 上海市浦东新区中国(上海)自由贸易试验区张东路1387号33幢101室；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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