台湾积体电路制造股份有限公司曾信富获国家专利权
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龙图腾网获悉台湾积体电路制造股份有限公司申请的专利旋转坩埚系统获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223431108U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-14发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202421696571.9，技术领域涉及：B23K26/70；该实用新型旋转坩埚系统是由曾信富;涂志强;温志伟;吕建兴设计研发完成，并于2024-07-17向国家知识产权局提交的专利申请。
本旋转坩埚系统在说明书摘要公布了：本公开提供一种旋转坩埚系统，其包括旋转坩埚、激光、熔融板以及加热元件。旋转坩埚包括表面以及横接于所述表面的内侧壁表面，所述旋转坩埚被配置为在操作中接收液态锡。激光被指向所述旋转坩埚的所述内侧壁表面上的所述液态锡，所述激光被配置为在操作中通过被指向所述液态锡来产生极紫外光。熔融板与所述旋转坩埚的所述内侧壁表面向内间隔开，所述熔融板被配置为在操作中加热固态锡嵌件以将所述固态锡嵌件熔化成新液态锡以被施加到所述旋转坩埚的所述内侧壁表面。加热元件与所述熔融板重叠，所述加热元件被配置为在操作中将所述熔融板加热至高于所述固态锡嵌件的熔点的温度。
本实用新型旋转坩埚系统在权利要求书中公布了：1.一种旋转坩埚系统，其特征在于，包括： 旋转坩埚，包括表面以及横接于所述表面的内侧壁表面，所述旋转坩埚被配置为在操作中接收液态锡； 激光，被指向所述旋转坩埚的所述内侧壁表面上的所述液态锡，所述激光被配置为在操作中通过被指向所述液态锡来产生极紫外光； 熔融板，与所述旋转坩埚的所述内侧壁表面向内间隔开，所述熔融板被配置为在操作中加热固态锡嵌件以将所述固态锡嵌件熔化成新液态锡以被施加到所述旋转坩埚的所述内侧壁表面；以及 加热元件，与所述熔融板重叠，所述加热元件被配置为在操作中将所述熔融板加热至高于所述固态锡嵌件的熔点的温度。
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