芯恩(青岛)集成电路有限公司王跃林获国家专利权
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龙图腾网获悉芯恩(青岛)集成电路有限公司申请的专利研磨控制装置及化学机械研磨设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223431429U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-14发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422866777.8，技术领域涉及：B24B37/00；该实用新型研磨控制装置及化学机械研磨设备是由王跃林;许力介;韩志祥;赵振伟设计研发完成，并于2024-11-22向国家知识产权局提交的专利申请。
本研磨控制装置及化学机械研磨设备在说明书摘要公布了：本实用新型提供了一种研磨控制装置及化学机械研磨设备，包括：温度检测组件、研磨液供给机构以及控制器，温度检测组件设于研磨头的压力腔体上且用于检测晶圆的研磨温度，研磨液供给机构用于向研磨垫供给研磨液。控制器与温度检测组件和研磨液供给机构连接。本实用新型通过在研磨头的压力腔体上设置温度检测组件，由于在晶圆研磨过程中，压力腔体会与晶圆接触，使得温度检测组件可以在研磨过程中实时地检测晶圆的研磨温度，控制器根据实时检测到晶圆的研磨温度，控制研磨液供给机构以调节研磨液的供给情况，进而使得晶圆的研磨温度始终保持在晶圆的设定研磨温度范围内，从而在研磨过程中可以监测并控制调节晶圆的研磨温度。
本实用新型研磨控制装置及化学机械研磨设备在权利要求书中公布了：1.一种研磨控制装置，其特征在于，包括： 温度检测组件，设于研磨头的压力腔体上且用于检测晶圆的研磨温度； 研磨液供给机构，用于向研磨垫供给研磨液； 控制器，与所述温度检测组件和所述研磨液供给机构连接，根据所述晶圆的研磨温度，控制所述研磨液供给机构以调节研磨液的供给情况。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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