上海积塔半导体有限公司张奕卿获国家专利权
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龙图腾网获悉上海积塔半导体有限公司申请的专利研磨设备的马达变速器及机械手臂驱动装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223434693U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-14发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520018027.7，技术领域涉及：F16H3/70；该实用新型研磨设备的马达变速器及机械手臂驱动装置是由张奕卿;尹雷俊;张伟设计研发完成，并于2025-01-03向国家知识产权局提交的专利申请。
本研磨设备的马达变速器及机械手臂驱动装置在说明书摘要公布了：本申请提供了一种研磨设备的马达变速器及机械手臂驱动装置，所述马达变速器包括：齿轮传动组件，包括第一齿轮、第二齿轮、第一轴和第二轴，第一轴的一端为动力输入端，第一轴与第一齿轮相连接，第二轴与第二齿轮相连接；棘轮组件，包括机架、第一棘轮机构和第二棘轮机构，第一棘轮机构和第二棘轮机构的方向相反，第一棘轮机构的棘爪和第二棘轮机构的棘爪分别与机架相连接，第一棘轮机构的棘轮与第一轴相连接，第二棘轮机构的棘轮与第二轴相连接；输出部，与棘轮组件的机架相连接，输出部的一端为动力输出端。本申请在晶圆传送手臂的驱动电机和传动机构之间设置马达变速器，通过马达变速器提高了示教精度，减少了由于手臂造成的取片报警。
本实用新型研磨设备的马达变速器及机械手臂驱动装置在权利要求书中公布了：1.一种研磨设备的马达变速器，其特征在于，包括： 齿轮传动组件，包括第一齿轮、第二齿轮、第一轴和第二轴，所述第一齿轮与所述第二齿轮的齿数不同，所述第一轴的一端为动力输入端，所述第一轴与所述第一齿轮相连接，所述第二轴与所述第二齿轮相连接； 棘轮组件，包括机架、第一棘轮机构和第二棘轮机构，所述第一棘轮机构和所述第二棘轮机构的方向相反，所述第一棘轮机构的第一棘爪和所述第二棘轮机构的第二棘爪分别与所述机架相连接，所述第一棘轮机构的第一棘轮与所述第一轴相连接，所述第二棘轮机构的第二棘轮与所述第二轴相连接； 输出部，与所述棘轮组件的机架相连接，所述输出部的一端为动力输出端。
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