西湖仪器(杭州)技术有限公司朱佳凯获国家专利权
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
龙图腾网获悉西湖仪器(杭州)技术有限公司申请的专利一种晶锭小面区域的高效检测设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223435901U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-14发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422994179.9，技术领域涉及：G01N21/01；该实用新型一种晶锭小面区域的高效检测设备是由朱佳凯;刘东立设计研发完成，并于2024-12-05向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种晶锭小面区域的高效检测设备在说明书摘要公布了：本实用新型涉及半导体晶锭加工技术领域，尤其涉及一种晶锭小面区域的高效检测设备。本实用新型的目的是提供一种晶锭小面区域的高效检测设备，该设备将激光束整形为矩形激光输出，以面激光扫描代替点激光扫描，扩大单次扫描区域，从而提高了扫描效率，并且避免了晶锭端面信息遗漏，使晶锭端面检测的效率和分辨率更高；同时，本实用新型采用银反射镜获取矩形激光的光强分布，进而对晶锭反射光光强分布进行校正，从而避免矩形激光光强不均匀对晶锭反射光光强分布的影响，提升测量的精度。
本实用新型一种晶锭小面区域的高效检测设备在权利要求书中公布了：1.一种晶锭小面区域的高效检测设备，其特征在于，所述设备包括： 激光器，用于发射特定波长的激光束，以检测晶锭表面； 匀光系统，与所述激光器相连，用于优化激光束的能量分布； 光束整形系统，与所述匀光系统相连，用于将激光束整形成矩形光斑； 分光片，位于光束整形系统的光路上，用于将部分激光束反射至晶锭表面，另一部分用于透射包含反射光信号的光束； 电动位移台，用于装载并带动晶锭在X-Y平面上运动； CCD检测系统，用于检测并记录晶锭表面的反射光强分布图像； 带通滤光片，位于CCD检测系统的光路上，用于透射激光波段的反射光并过滤杂散光； 控制端，用于控制激光器、电动位移台的运动，并处理CCD采集的反射光图像。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人西湖仪器(杭州)技术有限公司，其通讯地址为：310024 浙江省杭州市西湖区转塘街道转塘科技经济区块2号1幢6层601室；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
以上内容由龙图腾AI智能生成。
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号
请提出您的宝贵建议，有机会获取IP积分或其他奖励