上海维锐智能科技有限公司刘朋获国家专利权
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龙图腾网获悉上海维锐智能科技有限公司申请的专利一种气动多连杆压紧装置获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223436019U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-14发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202422514046.7,技术领域涉及:G01R1/04;该实用新型一种气动多连杆压紧装置是由刘朋;蔡晓恺设计研发完成,并于2024-10-17向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种气动多连杆压紧装置在说明书摘要公布了:本申请公开了一种气动多连杆压紧装置,属于晶圆老化测试领域,该压紧装置包括固定安装在测试台支座的外侧下方位置处的支撑体、在支撑体上浮动用于伸出测试台支座的上表面并插入晶圆载具内将晶圆载具压紧在测试台支座上的压头以及设置在支撑体上用于驱动压头动作的驱动机构;压头包括支撑部、位于支撑部一端的连接部以及位于支撑部远离连接部的一端的压紧部,晶圆载具的外壁上具有用于压紧部插入的让位槽。该压紧装置结构简单、使用方便,通过设置滑块和连杆机构,能够有效对晶圆载具进行固定的同时,不影响晶圆载具的拆卸的同时,能够有效的简化压紧装置的结构,降低压紧装置的体积,方便控制使用。
本实用新型一种气动多连杆压紧装置在权利要求书中公布了:1.一种气动多连杆压紧装置,其特征在于:包括固定安装在测试台支座4的外侧下方位置处的支撑体1、在所述支撑体1上浮动用于伸出所述测试台支座4的上表面并插入晶圆载具5内将晶圆载具5压紧在所述测试台支座4上的压头2以及设置在所述支撑体1上用于驱动所述压头2动作的驱动机构3; 所述压头2包括支撑部21、位于所述支撑部21一端的连接部22以及位于所述支撑部21远离所述连接部22的一端的压紧部23,所述晶圆载具5的外壁上具有用于所述压紧部23插入的让位槽51; 所述驱动机构3包括在所述支撑体1上沿所述测试台支座4的高度方向移动的滑块31、固定设置在所述支撑体1上用于驱动所述滑块31移动的驱动件32以及设置在所述支撑体1和所述滑块31上的连杆机构33; 其中,所述压头2的初始位置位于所述测试台支座4的上表面下方位置处,当所述滑块31移动靠近所述测试台支座4的上表面时,所述连杆机构33使所述压头2伸出所述测试台支座4的上表面并使所述压紧部23插入所述让位槽51内;当所述滑块移动远离所述测试台支座4的上表面时,所述连杆机构33使所述压紧部23脱离所述让位槽51并使所述压头2复位。
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