浙江创芯集成电路有限公司毛加坤获国家专利权
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龙图腾网获悉浙江创芯集成电路有限公司申请的专利一种光刻机镜头的供气系统及半导体制造设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223436193U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-14发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202423119495.8，技术领域涉及：G03F7/20；该实用新型一种光刻机镜头的供气系统及半导体制造设备是由毛加坤设计研发完成，并于2024-12-17向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种光刻机镜头的供气系统及半导体制造设备在说明书摘要公布了：本申请实施例提供了一种光刻机镜头的供气系统及半导体制造设备，所述光刻机镜头的供气系统包括：多个空气净化设备，包括至少一个第一空气净化设备和至少一个第二空气净化设备；设置于第一空气净化设备的第一化学过滤设备和第二化学过滤设备，第一化学过滤设备和第二化学过滤设备过滤不同类型的化学物质；设置于第二空气净化设备的第一化学过滤设备；气流集中装置以及光刻机镜头的供气通道，气流集中装置以及供气通道位于光罩室；气流集中装置连接第一空气净化设备的出风口，将第一空气净化设备的出风口输出的空气，集中到光刻机镜头的供气通道。本申请实施例提供的供气系统能够实现对光刻机镜头的供气，并降低供气系统的成本和维护复杂度。
本实用新型一种光刻机镜头的供气系统及半导体制造设备在权利要求书中公布了：1.一种光刻机镜头的供气系统，其特征在于，包括： 多个空气净化设备，包括至少一个第一空气净化设备和至少一个第二空气净化设备； 设置于所述第一空气净化设备的第一化学过滤设备和第二化学过滤设备，第一化学过滤设备和第二化学过滤设备过滤不同类型的化学物质； 设置于所述第二空气净化设备的第一化学过滤设备； 气流集中装置以及光刻机镜头的供气通道，所述气流集中装置以及供气通道位于光罩室；所述气流集中装置连接所述第一空气净化设备的出风口，将所述第一空气净化设备的出风口输出的空气，集中到所述光刻机镜头的供气通道。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人浙江创芯集成电路有限公司，其通讯地址为：311200 浙江省杭州市萧山区宁围街道平澜路2118号浙江大学杭州国际科创中心水博园区11幢4层-5层(自主申报)；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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