芯恩(青岛)集成电路有限公司许子轩获国家专利权
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龙图腾网获悉芯恩(青岛)集成电路有限公司申请的专利显影装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223436194U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-14发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422851762.4，技术领域涉及：G03F7/30；该实用新型显影装置是由许子轩设计研发完成，并于2024-11-21向国家知识产权局提交的专利申请。
本显影装置在说明书摘要公布了：本实用新型提供一种显影装置。其中，所述显影装置包括显影手臂和冲洗手臂，且在所述显影手臂和所述冲洗手臂的侧壁上设置有测距模块。且所述测距模块至少能够探测所述显影手臂与所述冲洗手臂的相对距离，实现对二者间距的实时监测。进一步的，当所述相对距离过小并使得所述显影装置呈碰撞事件预警状态时，所述显影手臂和所述冲洗手臂能够紧急停止移动，以避免发生碰撞事件，从而有效避免了机台宕机以及对产品质量造成不良影响。
本实用新型显影装置在权利要求书中公布了：1.一种显影装置，其特征在于，包括承载台、显影手臂、冲洗手臂和测距模块； 所述承载台用于承载晶圆； 所述显影手臂和所述冲洗手臂能够分别移动至所述承载台的上方，且分别用于向所述晶圆喷洒显影液和清洗液； 所述测距模块分布于所述显影手臂和所述冲洗手臂上，至少用于探测所述显影手臂和所述冲洗手臂的相对距离。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人芯恩(青岛)集成电路有限公司，其通讯地址为：266000 山东省青岛市黄岛区太白山路19号德国企业南区401；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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