珠海格力电子元器件有限公司;珠海格力电器股份有限公司王勇获国家专利权
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龙图腾网获悉珠海格力电子元器件有限公司;珠海格力电器股份有限公司申请的专利双层板侧板、制程腔及刻蚀机台获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223436487U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-14发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422766064.4，技术领域涉及：H01J37/32；该实用新型双层板侧板、制程腔及刻蚀机台是由王勇;赵亚珩设计研发完成，并于2024-11-12向国家知识产权局提交的专利申请。
本双层板侧板、制程腔及刻蚀机台在说明书摘要公布了：本公开提供一种双层板侧板、制程腔及刻蚀机台。双层板侧板包括金属框和观察窗，观察窗包括石英板和亚克力板，石英板构成双层板侧板的内侧板，亚克力板构成双层板侧板的外侧板；观察窗与金属框固定连接，且石英板与亚克力板之间形成真空隔层，真空隔层内设置有至少一个支撑物，支撑物的第一端与石英板固定连接，支撑物的第二端与亚克力板固定连接，且石英板朝向真空隔层的一侧以及亚克力板朝向真空隔层一侧分别设置低辐射膜。本公开中，观察窗既可以保证观察的透明性，又可以保护石英板不受腐蚀气体影响，同时也提高了侧板的强度，很好的提升观察窗的安全性。
本实用新型双层板侧板、制程腔及刻蚀机台在权利要求书中公布了：1.一种双层板侧板，应用于刻蚀机台，其特征在于，所述双层板侧板包括金属框和观察窗，所述观察窗固定于所述金属框，所述观察窗包括石英板和亚克力板，所述石英板构成所述双层板侧板的内侧板，所述亚克力板构成所述双层板侧板的外侧板，所述石英板与所述亚克力板之间形成真空隔层，所述真空隔层内设置有至少一个支撑物，所述支撑物的第一端与所述石英板固定连接，所述支撑物的第二端与所述亚克力板固定连接，且所述石英板朝向所述真空隔层的一侧以及所述亚克力板朝向所述真空隔层一侧分别设置低辐射膜。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人珠海格力电子元器件有限公司;珠海格力电器股份有限公司，其通讯地址为：519080 广东省珠海市高新区唐家湾镇金唐路1号港湾1号科创园24栋C区1层428室(集中办公区)；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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