广州增芯科技有限公司张裕获国家专利权
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龙图腾网获悉广州增芯科技有限公司申请的专利一种等离子体处理装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223436489U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-14发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422835136.6，技术领域涉及：H01J37/32；该实用新型一种等离子体处理装置是由张裕设计研发完成，并于2024-11-20向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种等离子体处理装置在说明书摘要公布了：本实用新型提供一种等离子体处理装置，包括：真空反应腔体、相对设置在真空反应腔体内的上电极和下电极、以及位于上电极外圈的外圈绝缘部件；外圈绝缘部件与真空反应腔体固定连接，用于绝缘上电极与真空反应腔体；上电极上设有气体通道，气体通道包括相连通的中心气孔和若干横向气孔；中心气孔设置于上电极的中心轴线上，并贯穿上电极的上表面；横向气孔横向设置于上电极内，贯穿上电极的侧壁，并朝向外圈绝缘部件；真空反应腔体的顶部设有进气口。当腔体内沉积、刻蚀等进行反应或闲置进行自清洁时，气体通过若干横向气孔吹向上电极的侧壁与外圈绝缘部件的内侧之间的缝隙，清扫附着在缝隙上的副产物，防止副产物堆积在该缝隙内。
本实用新型一种等离子体处理装置在权利要求书中公布了：1.一种等离子体处理装置，其特征在于，包括：真空反应腔体、相对设置在所述真空反应腔体内的上电极和下电极、以及位于所述上电极外圈的外圈绝缘部件； 所述外圈绝缘部件与所述真空反应腔体固定连接，用于绝缘所述上电极与所述真空反应腔体； 所述上电极上设有气体通道，所述气体通道包括相连通的中心气孔和若干横向气孔；所述中心气孔设置于所述上电极的中心轴线上，并贯穿所述上电极的上表面；所述横向气孔横向设置于所述上电极内，贯穿所述上电极的侧壁，并朝向所述外圈绝缘部件； 所述真空反应腔体的顶部设有进气口，气体经由所述进气口和所述气体通道流向所述真空反应腔体内。
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