江苏元夫半导体科技有限公司请求不公布姓名获国家专利权
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龙图腾网获悉江苏元夫半导体科技有限公司申请的专利一种热熔机构及晶圆撕膜装置获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223436499U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-14发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202422955161.8,技术领域涉及:H01L21/67;该实用新型一种热熔机构及晶圆撕膜装置是由请求不公布姓名设计研发完成,并于2024-11-29向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种热熔机构及晶圆撕膜装置在说明书摘要公布了:本申请涉及晶圆加工技术领域,公开了一种热熔机构及晶圆撕膜装置,热熔机构包括载台、热熔组件、升降组件和监测组件。载台用于承载晶圆,晶圆表面设有保护膜,保护膜上设置有热熔胶带;热熔组件设置于载台上方,热熔组件包括热熔焊接头;升降组件与热熔组件连接,升降组件能够带动热熔组件升降,当热熔焊接头挤压热熔胶带时,热熔焊接头能够将热熔胶带与保护膜热熔连接;监测组件设置于升降组件与热熔组件之间,且与升降组件电连接,监测组件被配置为监测热熔焊接头向热熔胶带施加的压力,以控制热熔焊接头施加在热熔胶带上的压力在预设范围内。本申请的设计能够控制热熔焊接头对热熔胶带所施加的压力大小,防止因压力超出预设范围导致晶圆破损。
本实用新型一种热熔机构及晶圆撕膜装置在权利要求书中公布了:1.一种热熔机构,用于将晶圆的保护膜与热熔胶带热熔连接,其特征在于,包括: 载台,所述载台用于承载晶圆,所述晶圆表面设有保护膜; 热熔组件,所述热熔组件设置于所述载台上方,所述热熔组件包括热熔焊接头; 升降组件,所述升降组件与所述热熔组件连接,所述升降组件能够带动所述热熔组件升降,当所述热熔焊接头挤压所述热熔胶带时,所述热熔焊接头能够将热熔胶带与所述保护膜热熔连接;以及, 监测组件,所述监测组件设置于所述升降组件与所述热熔组件之间,且与所述升降组件电连接,所述监测组件被配置为监测所述热熔焊接头向所述热熔胶带施加的压力,以控制所述热熔焊接头施加在所述热熔胶带上的压力在预设范围内。
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