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龙图腾网获悉深圳市炎瑞半导体技术有限公司申请的专利一种晶圆贴膜设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223436506U 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-14发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422832909.5，技术领域涉及：H01L21/68；该实用新型一种晶圆贴膜设备是由舒珍珍设计研发完成，并于2024-11-20向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种晶圆贴膜设备在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种晶圆贴膜设备，包括机架，所述机架的上表面设置有上治具组件，所述机架的上表面设置有下拍CCD组件，所述上治具组件的下方设置有下治具组件，所述上治具组件的下方设置有滚贴组件，所述上治具组件的下方设置有上拍CCD组件，所述上治具组件包括X轴移动模组、X轴辅助导轨、翻转连接组件、调整平台与吸板治具，所述X轴移动模组的外表面与翻转连接组件活动连接，所述X轴辅助导轨的外表面与翻转连接组件滑动连接。通过设置下拍CCD组件与上拍CCD组件，能够对贴合前物料进行精准对位，从而提升晶圆的贴膜效果，通过设置滚贴组件，能够对贴合压力进行控制，从而避免出现不良产品。

本实用新型一种晶圆贴膜设备在权利要求书中公布了：1.一种晶圆贴膜设备，其特征在于，包括：机架1，所述机架1的上表面设置有上治具组件2，所述机架1的上表面设置有下拍CCD组件3，所述上治具组件2的下方设置有下治具组件4，所述上治具组件2的下方设置有滚贴组件5，所述上治具组件2的下方设置有上拍CCD组件6； 所述上治具组件2包括X轴移动模组201、X轴辅助导轨202、翻转连接组件203、调整平台204与吸板治具205，所述X轴移动模组201的外表面与翻转连接组件203活动连接，所述X轴辅助导轨202的外表面与翻转连接组件203滑动连接，所述翻转连接组件203的上表面与调整平台204固定连接，所述调整平台204的上表面与吸板治具205固定连接； 所述下拍CCD组件3包括第一支架301、第一调整模组302与下拍相机303，所述第一支架301的外表面与第一调整模组302固定连接，所述第一调整模组302的外表面与下拍相机303活动连接； 所述下治具组件4包括XZ轴移动模组401与物料治具402，所述XZ轴移动模组401的外表面与物料治具402活动连接； 所述滚贴组件5包括Y轴移动模组501、顶升气缸502、支撑导轨架503、贴合滚轮504与移动架505，所述Y轴移动模组501的外表面与移动架505活动连接，所述移动架505的内表面与支撑导轨架503固定连接，所述移动架505的内表面与顶升气缸502固定连接，所述顶升气缸502的输出端固定连接有贴合滚轮504； 所述上拍CCD组件6包括第二调整模组601、第二支架602、手动调整平台603与上拍相机604，所述第二调整模组601的外表面与第二支架602活动连接，所述第二支架602的外表面与手动调整平台603固定连接，所述手动调整平台603的外表面与上拍相机604固定连接。

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