昆山义亨科技有限公司孙晓光获国家专利权
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龙图腾网获悉昆山义亨科技有限公司申请的专利一种半导体刻蚀机台的静电吸盘的拆装机构获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223436509U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-14发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422473338.0，技术领域涉及：H01L21/683；该实用新型一种半导体刻蚀机台的静电吸盘的拆装机构是由孙晓光;陈维国;张万轶设计研发完成，并于2024-10-14向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种半导体刻蚀机台的静电吸盘的拆装机构在说明书摘要公布了：本实用新型涉及静电吸盘的拆装机构技术领域，公开了一种半导体刻蚀机台的静电吸盘的拆装机构，包括工作台、拆卸组件、安装筒、通电槽、静电吸盘、限位圈以及连接框，本实用新型对设备通电，再将需要蚀刻的半导体零件放置到静电吸盘上，启动静电吸盘对半导体零件进行吸附固定，固定之后，启动机械臂，其会根据提前预设的轨迹，带动蚀刻头对半导体零件表面进行蚀刻，当需要对静电吸盘进行拆卸更换时，首先将第一螺栓以及第二螺栓取下，解除对限位圈的限位，完成之后将限位圈从工作台上取下，再将静电吸盘从安装筒中取出，即可完成对静电吸盘的拆卸，能够有效节约更换静电吸盘的时间，从而提高工作效率。
本实用新型一种半导体刻蚀机台的静电吸盘的拆装机构在权利要求书中公布了：1.一种半导体刻蚀机台的静电吸盘的拆装机构，其特征在于： 包括工作台1； 拆卸组件3，所述拆卸组件3固定安装在工作台1内部中心位置，所述拆卸组件3内包括安装筒310、通电槽311、静电吸盘312、限位圈313、连接框314、第一螺栓315以及第二螺栓316； 安装筒310，所述安装筒310固定安装在工作台1的中心位置； 通电槽311，其中一组所述通电槽311固定安装在安装筒310的内部，另一组所述通电槽311固定安装在安装筒310的底部； 静电吸盘312，所述静电吸盘312滑动安装在安装筒310的内部，所述静电吸盘312底部和通电槽311之间滑动连接； 限位圈313，所述限位圈313和安装筒310上端之间固定连接，所述限位圈313和工作台1之间存在间隙； 连接框314，两组所述连接框314的侧壁固定连接限位圈313的外壁，两组所述连接框314相互对称。
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