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龙图腾网获悉诺德凯(苏州)智能装备有限公司申请的专利一种负压吸附装置及硅片搬运装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223436510U 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-14发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422496491.5，技术领域涉及：H01L21/683；该实用新型一种负压吸附装置及硅片搬运装置是由刘磊;龚燕斌;俞志军;孙留华;谷丙楠;武玉鑫设计研发完成，并于2024-10-16向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种负压吸附装置及硅片搬运装置在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种负压吸附装置，涉及硅片分选技术领域，包括：主板体，其上端面开设有凹槽，所述凹槽内开设有若干个通孔，所述主板体的底部开设有截面呈梯形的通槽；盖板，固定安装在所述主板体的上端，所述盖板上固定安装有进气连接块，所述进气连接块内开设有与所述凹槽连通的进气孔；腔体板，固定安装在所述主板体的下端，所述腔体板上对应于每个所述通孔均开设有缺口部；底板，固定安装在所述腔体板的下端，并将所有所述缺口部的下端面封闭。本实用新型有效避免了相邻伯努利吸盘之间形成扰流，保证了硅片吸附及运输的稳定性。

本实用新型一种负压吸附装置及硅片搬运装置在权利要求书中公布了：1.一种负压吸附装置，其特征在于：包括： 主板体1，其上端面开设有沿其长度方向延伸的凹槽2，所述凹槽2内开设有若干个沿厚度方向贯穿所述主板体1的通孔3，若干个所述通孔3沿所述主板体1的长度方向依次等距布设，所述主板体1的底部开设有截面呈梯形的通槽4，且所述通槽4由所述主板体1长度方向的一端延伸至另一端； 盖板5，固定安装在所述主板体1的上端，并将所述凹槽2封闭，所述盖板5上固定安装有进气连接块6，所述进气连接块6内开设有与所述凹槽2连通的进气孔7； 腔体板8，固定安装在所述主板体1的下端，且位于所述通槽4内，所述腔体板8上对应于每个所述通孔3均开设有缺口部9，所述缺口部9延伸至所述腔体板8的一侧，且任意相邻的两个所述缺口部9分别延伸至所述腔体板8的两侧； 底板10，固定安装在所述腔体板8的下端，并将所有所述缺口部9的下端面封闭，使任一所述缺口部9在所述主板体1与所述底板10之间形成出气槽19； 其中，所述腔体板8与所述底板10的厚度之和小于所述通槽4的高。

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