苏州美图半导体技术有限公司王云翔获国家专利权
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龙图腾网获悉苏州美图半导体技术有限公司申请的专利一种方片匀胶用吸盘装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223436511U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-14发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422880058.1，技术领域涉及：H01L21/683；该实用新型一种方片匀胶用吸盘装置是由王云翔;马冬月;段仲伟;姚园设计研发完成，并于2024-11-25向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种方片匀胶用吸盘装置在说明书摘要公布了：本实用新型涉及一种方片匀胶用吸盘装置，包括吸盘，吸盘的结构为：包括盘体，盘体的中部开设中心孔，盘体的顶部端面开设容置槽，容置槽内设置有两沿中心孔的圆心中心对称布置的第一凸条组，以及两沿中心孔的圆心中心对称布置的第二凸条组，单组第一凸条组与相邻的一第二凸条组之间形成第一直槽分段，同时与相邻的另一第二凸条组之间形成第二直槽分段，两第一直槽分段间隔180°分布并形成第一直槽，两第二直槽分段间隔180°分布并形成第二直槽。通过设置吸盘，能够对方片进行定位对中，从而提高匀胶后方片表面光刻胶厚度的均匀性，特别是在边缘和尖角部分显著改善涂胶的均匀性，提高后续光刻和蚀刻的加工精度，提高后续半导体器件的成品率。
本实用新型一种方片匀胶用吸盘装置在权利要求书中公布了：1.一种方片匀胶用吸盘装置，其特征在于：包括吸盘1，所述吸盘1在负压源的作用下吸附方片3； 所述吸盘1的结构为：包括盘体103，所述盘体103的中部开设用于与负压源连接的中心孔104，盘体103的顶部端面开设容置槽105，所述容置槽105内设置有两沿中心孔104的圆心中心对称布置的第一凸条组，以及两沿中心孔104的圆心中心对称布置的第二凸条组，单组第一凸条组与单组第二凸条组沿圆周依次交替排列，单组第一凸条组与相邻的一第二凸条组之间形成第一直槽分段，同时与相邻的另一第二凸条组之间形成第二直槽分段，两第一直槽分段间隔180°分布并形成第一直槽101，两第二直槽分段间隔180°分布并形成第二直槽102，所述第一直槽101与第二直槽102呈正交分布同时与中心孔104连通。
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