苏州海光芯创光电科技股份有限公司孙旭获国家专利权
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龙图腾网获悉苏州海光芯创光电科技股份有限公司申请的专利一种具有定位槽的硅光芯片及其加工方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN113805291B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-17发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202111201935.2，技术领域涉及：G02B6/42；该发明授权一种具有定位槽的硅光芯片及其加工方法是由孙旭;李操;林天营;胡朝阳设计研发完成，并于2021-10-15向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种具有定位槽的硅光芯片及其加工方法在说明书摘要公布了：本发明提供了一种具有定位槽的硅光芯片及其加工方法，涉及半导体生产技术领域，通过在侧壁加工出定位槽与光纤端面耦合，能够提高对准精度，提高硅光芯片晶圆利用率，降低成本；该硅光芯片的侧壁设有至少一个用于实现光纤与波导端面耦合且对所述光纤具有定位作用的定位槽；所述定位作用具体为：在所述硅光芯片所在平面，所述定位槽限制所述光纤的位移；耦合时，将所述硅光芯片贴装在PCBA基板的上表面，将待耦合光纤固定在特定厚度的玻璃基板的上表面，将相较于所述玻璃基板突出的光纤的端部插入对应的定位槽中实现耦合。本发明提供的技术方案适用于半导体生产的过程中。
本发明授权一种具有定位槽的硅光芯片及其加工方法在权利要求书中公布了：1.一种具有定位槽的硅光芯片，其特征在于，所述硅光芯片的侧壁设有至少一个用于实现光纤与波导耦合且对所述光纤具有定位作用的定位槽； 所述定位作用具体为：在所述硅光芯片所在平面，所述定位槽限制所述光纤的位移；通过所述定位槽限定光纤在x轴和y轴方向的运动；其中，通过所述定位槽底端面与所述光纤的端面面贴合，限定所述光纤在y轴方向的运动；所述x轴和y轴方向均与所述硅光芯片的设置所述波导的表面平行； 所述波导的端面与所述定位槽内底端面的距离不超过5μm； 所述定位槽贯穿所述硅光芯片侧壁。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人苏州海光芯创光电科技股份有限公司，其通讯地址为：215000 江苏省苏州市中国(江苏)自由贸易试验区苏州片区苏州工业园区平胜路1号；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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