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龙图腾网获悉强一半导体(上海)有限公司申请的专利一种用于3D MEMS探针网清洗工序的固定夹持装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114042720B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-17发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202111406238.0，技术领域涉及：B08B13/00；该发明授权一种用于3D MEMS探针网清洗工序的固定夹持装置是由周明;徐兴光设计研发完成，并于2021-11-24向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种用于3D MEMS探针网清洗工序的固定夹持装置在说明书摘要公布了：一种用于3DMEMS探针网清洗工序的固定夹持装置，包括上盖板和下底板。上盖板开设第一通孔，其下端面盖设上纱网；第一通孔内设有上直线轴承，包括第一内圈和第一外圈；第一通孔内还嵌有上顶圈，其下端设有第一抵持部；上顶圈与第一通孔螺纹配合。下底板开设第二通孔，其上端面盖设下纱网；第二通孔内设有下直线轴承，包括第二内圈和第二外圈；第二通孔内还嵌有下顶圈，其上端设有第二抵持部；下顶圈与第二通孔螺纹配合。上盖板与下底板相盖合，两纱网临近，形成一用于放置3DMEMS探针网的间隙；上顶圈向下旋动，带动第一内圈与上纱网抵持，使所述上纱网绷紧；下顶圈向上旋动，带动第二内圈与下纱网抵持，使所述下纱网绷紧。

本发明授权一种用于3D MEMS探针网清洗工序的固定夹持装置在权利要求书中公布了：1.一种用于3DMEMS探针网清洗工序的固定夹持装置，其特征在于：所述装置包括一上盖板1和一下底板2； 所述上盖板1开设有上下贯穿的第一通孔3，该第一通孔3的下端面盖设固定有一上纱网4；所述第一通孔3内设有一上直线轴承5，所述上直线轴承5包括第一内圈6和第一外圈7，所述第一外圈7相对第一通孔3的孔壁固定；所述第一通孔3内还嵌有一上顶圈8，该上顶圈8位于上直线轴承5的第一内圈6的上方，上顶圈8的下端设有一抵压作用于第一内圈6的第一抵持部9；并且，所述上顶圈8的外周面上还 设有外螺纹，而所述第一通孔3的内壁上设有相配的内螺纹，上顶圈8通过其外螺纹与第一通孔3的内螺纹配合，构成所述上顶圈8相对上盖板1的上下位置可调的结构； 所述下底板2开设有上下贯穿的第二通孔10，该第二通孔10的上端面盖设固定有一下纱网11；所述第二通孔10内设有一下直线轴承12，所述下直线轴承12包括第二内圈13和第二外圈14，所述第二外圈14相对第二通孔10的孔壁固定；所述第二通孔10内还嵌有一下顶圈15，该下顶圈15位于下直线轴承12的第二内圈13的下方，下顶圈15的上端设有一抵压作用于第二内圈13的第二抵持部27；并且，所述下 顶圈15的外周面上还设有外螺纹，而所述第二通孔10的内壁上设有相配的内螺纹，下顶圈15通过其外螺纹与第二通孔10的内螺纹配合，构成所述下顶圈15相对下底板2的上下位置可调的结构； 所述上盖板1与所述下底板2相盖合，且所述第一通孔3与所述第二通孔10相对位，所述上纱网4与所述下纱网11临近，两者之间形成一用于放置3DMEMS探针网16的间隙；当上顶圈8向下旋动，带动所述第一内圈6下移与所述上纱网4抵持，使所述上纱网4绷紧；当所述下顶圈15向上旋动，带动所述第二内圈13上移与所述下纱网11抵持，使所述下纱网11绷紧； 所述第一通孔3与所述第二通孔10的内壁上均设有一圈径向内凸的限位部17； 所述上直线轴承5还包括第一滚珠，所述第一滚珠位于所述第一外圈7与所述第一内圈6之间，所述第一外圈7和所述第一内圈6通过第一滚珠活动连接；所述下直线轴承12还包括第二滚珠18，所述第二滚珠18位于所述第二外圈14与所述第二内圈13之间，所述第二外圈14和所述第二内圈13通过第二滚珠18活动连接。

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