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龙图腾网获悉三亚普罗股份有限公司申请的专利新型鎓盐和光产酸剂获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114401975B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-17发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202180005314.9，技术领域涉及：C07F9/535；该发明授权新型鎓盐和光产酸剂是由赤泽庆彦;木津智仁;高桥龙辅;中村友治;木村秀基设计研发完成，并于2021-05-07向国家知识产权局提交的专利申请。

本新型鎓盐和光产酸剂在说明书摘要公布了：本发明作为光产酸剂发挥功能，进而该光产酸剂通过与下述成分等组合提供一种化学增幅型光致抗蚀剂组合物，该成分是在通过照射光或电子射线等活性能量射线所产生的酸的作用下对碱的溶解性增大的树脂。本发明涉及一种鎓盐，其为通式1所示的鎓盐，其中，在阴离子结构的面式体和经式体这2种异构体中，面式体的比例为15.0重量％以下。[R2n+1‑E]+[R13F3P]‑1。

本发明授权新型鎓盐和光产酸剂在权利要求书中公布了：1.一种鎓盐，其为通式1或下述式a3～a15中任一者所示的鎓盐，其中，在阴离子结构的面式体和经式体这2种异构体中，面式体的比例为15.0重量％以下， [R2n+1-E]+[R13F3P]-1 式1中，R1是五氟乙基、七氟正丙基、九氟正丁基、七氟异丙基或三氟甲基；E为I或S；E为I的情况下，n为1，E为S的情况下，n为2；R2是与E键合的有机基团，该有机基团是具有或不具有取代基的苯基或芴基，该取代基是苯硫基或联苯硫基，R2的个数为n+1，n+1个R2各自彼此相同或不同， a34-苯硫基苯基二苯基锍·三五氟苯基三氟膦酸盐， a44-异丙基苯基甲苯基碘鎓·三五氟乙基三氟膦酸盐， a54-异丙基苯基甲苯基碘鎓·三七氟丙基三氟膦酸盐， a64-异丙基苯基甲苯基碘鎓·三五氟苯基三氟膦酸盐， a7[4-4-联苯硫基苯基]-4-联苯基苯基锍·三五氟乙基三氟膦酸盐， a8[4-4-联苯硫基苯基]-4-联苯基苯基锍·三七氟丙基三氟膦酸盐， a9[4-4-联苯硫基苯基]-4-联苯基苯基锍·三五氟苯基三氟膦酸盐， a10[4-4-乙酰基苯硫基]苯基二苯基锍·三五氟乙基三氟膦酸盐， a11[4-4-乙酰基苯硫基]苯基二苯基锍·三七氟丙基三氟膦酸盐， a12[4-4-乙酰基苯硫基]苯基二苯基锍·三五氟苯基三氟膦酸盐，

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