上海萍生微电子科技有限公司吴现伟获国家专利权
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龙图腾网获悉上海萍生微电子科技有限公司申请的专利一种滤波器芯片及其加工方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN114465590B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-17发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202210121014.3,技术领域涉及:H03H3/02;该发明授权一种滤波器芯片及其加工方法是由吴现伟;汪洋设计研发完成,并于2022-02-09向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种滤波器芯片及其加工方法在说明书摘要公布了:本发明提供了一种滤波器芯片及其加工方法,涉及滤波器技术领域;所述滤波器芯片包括晶圆,晶圆上设有芯片有效区;芯片有效区外设有划片道;芯片的有效区内设有谐振器和焊盘;焊盘通过金属线路连接谐振器;焊盘的植球区域内植有锡球;锡球和谐振器以外芯片的有效区表面覆盖二氧化硅保护层。本发明的滤波器芯片的谐振器区域没有覆盖二氧化硅保护层,保持谐振器灵活输入输出和高频转换功能;减少了二氧化硅保护层对滤波器芯片性能的影响,提高了滤波器的谐振能效,特别是高频滤波器抗干扰效果更强。通过在助焊剂刷胶植球钢网上设置与晶圆上谐振器对应的半刻蚀空腔,避免了谐振器加工过程中出现受损。
本发明授权一种滤波器芯片及其加工方法在权利要求书中公布了:1.一种滤波器芯片,包括晶圆,其特征在于,晶圆上设有芯片有效区;芯片有效区外设有划片道;芯片的有效区内设有谐振器和焊盘;芯片的谐振器区域没有覆盖二氧化硅保护层;焊盘通过金属线路连接谐振器;焊盘的植球区域内植有锡球;锡球和谐振器以外芯片的有效区表面覆盖二氧化硅保护层。
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