诺思(天津)微系统有限责任公司庞慰获国家专利权
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龙图腾网获悉诺思(天津)微系统有限责任公司申请的专利具有钨电极的体声波谐振器、滤波器及电子设备获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN114553178B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-17发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202011332928.1,技术领域涉及:H03H9/17;该发明授权具有钨电极的体声波谐振器、滤波器及电子设备是由庞慰;张孟伦;宁远设计研发完成,并于2020-11-24向国家知识产权局提交的专利申请。
本具有钨电极的体声波谐振器、滤波器及电子设备在说明书摘要公布了:本发明涉及一种体声波谐振器,包括:基底;声学镜;底电极;顶电极;和压电层,设置在底电极与顶电极之间,其中:所述压电层为掺杂压电层;且所述顶电极和或底电极为含有金属钨的钨电极。所述顶电极和或底电极为由金属钨制成的单层电极或者由钨合金制成的单层电极。或者所述顶电极和或底电极为叠层电极,所述叠层电极包括叠置的不同材质的至少两层电极层,所述至少两层电极层至少包括一层钨电极层,所述钨电极层为由金属钨制成的电极层或者由钨合金制成的电极层。本发明还涉及一种具有上述谐振器的滤波器以及具有该滤波器或谐振器的电子设备。
本发明授权具有钨电极的体声波谐振器、滤波器及电子设备在权利要求书中公布了:1.一种体声波谐振器,包括: 基底; 声学镜; 底电极; 顶电极;和 压电层,设置在底电极与顶电极之间,其中: 所述压电层为掺杂压电层;且 所述顶电极和或底电极为含有金属钨的钨电极; 所述顶电极和或底电极为单层电极,顶电极或底电极的单层厚度与掺杂压电层的厚度的比值在0.1-1的范围内;或者 所述顶电极和或底电极为叠层电极,所述叠层电极包括叠置的不同材质的至少两层电极层,所述叠层电极的邻近压电层的电极层为第一电极层,所述第一电极层为钨电极层。
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