广东工业大学杨冠南获国家专利权
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龙图腾网获悉广东工业大学申请的专利一种键合丝保护层的制作方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN114566437B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-17发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202210058005.4,技术领域涉及:H01L21/60;该发明授权一种键合丝保护层的制作方法是由杨冠南;张海德;周志强;崔成强;张昱设计研发完成,并于2022-01-19向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种键合丝保护层的制作方法在说明书摘要公布了:本发明属于键合丝技术领域,公开了一种键合丝保护层的制作方法。该方法包括以下步骤:在引线键合完成后,将引线浸没于低于0℃的低温介质中,使引线温度降至与低温介质一致;然后将引线立即放入含有有机包覆剂气体的氛围中,含有有机包覆剂气体的氛围最初的气压为0.01~0.1MPa,温度在室温至400℃范围内,接着提高气压至0.1~1MPa,反应使有机包覆剂在键合丝表面快速冷却,形成致密的保护层。本发明采用有机物蒸汽进行包覆,键合丝热导率高,加上低温,会诱使有机物在键合丝表面析出形成包覆层,而且是在引线键合试样快速放入蒸汽室内后,快速升压,也会诱使有机物在键合丝表面析出形成包覆层。
本发明授权一种键合丝保护层的制作方法在权利要求书中公布了:1.一种键合丝保护层的制作方法,其特征在于包括以下操作步骤: 在引线键合完成后,将引线浸没于低于-196℃的液氮中,使引线温度降至与液氮一致;然后将引线立即放入含有有机包覆剂气体的氛围中,含有有机包覆剂气体的氛围是在还原性气体中,将咪唑溶剂在180℃范围内加热蒸发得到含有咪唑或甲酸的气体;所述还原性气体是体积分数5%氢气与体积分数95%氩气或氮气的混合气体,含有有机包覆剂气体的氛围最初的气压为0.1MPa,在温度400℃下,接着提高气压至1MPa,反应2分钟,使有机包覆剂在键合丝表面快速冷却,形成致密的保护层; 所述低温介质为液氮、液氦或干冰; 所述反应的时间为1~5分钟。
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