应用材料公司凯文·布拉希尔获国家专利权
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龙图腾网获悉应用材料公司申请的专利用于气体流量比控制的方法与组件获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114895718B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-17发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202210527535.9，技术领域涉及：G05D7/06；该发明授权用于气体流量比控制的方法与组件是由凯文·布拉希尔;阿什利·M·奥卡达;丹尼斯·L·德玛斯;叶祉渊;杰德夫·拉贾拉姆;玛塞勒·E·约瑟夫森设计研发完成，并于2017-03-10向国家知识产权局提交的专利申请。
本用于气体流量比控制的方法与组件在说明书摘要公布了：方法和气体流量控制组件经配置而将气体以所需流量比输送到处理腔室区。在一些实施方式中，组件包括一或多个MFC和背压控制器BPC。组件包括控制器、处理气体源、分配歧管、压力传感器、处理腔室、一或多个质量流量控制器和背压控制器，压力传感器耦接至分配歧管且经配置而感测分配歧管的背压，一或多个质量流量控制器连接于分配歧管与处理腔室之间以控制分配歧管与处理腔室之间的气体流量，背压控制器与一或多个质量流量控制器以流体并联关系设置，其中实现精确的流量比控制。替代实施方式包括上游压力控制器，上游压力控制器经配置而控制载气的流量，以控制背压。作为其他方面本案描述用于控制分区气体流量比的进一步方法与组件。
本发明授权用于气体流量比控制的方法与组件在权利要求书中公布了：1.一种控制气体到处理腔室的流量的方法，所述处理腔室包括多个区，所述方法包括： 控制通过多个质量流量控制器的各者的气体流量，所述多个质量流量控制器流体地耦接在所述处理腔室与分配歧管之间，其中所述多个质量流量控制器中的第一质量流量控制器被配置为控制进入所述多个区的第一区子集中的第一气体流量，所述第一气体流量被控制于第一动态可控流量设定点，并且所述多个质量流量控制器中的第二质量流量控制器被配置为控制进入所述多个区的第二区子集中的第二气体流量，所述第二气体流量被控制于第二动态可控流量设定点； 将与所述分配歧管流体耦接的背压控制器的上游的背压控制于确定的背压设定点；及 控制通过所述背压控制器进入所述处理腔室的所述多个区的第三区子集中的第三气体流量，所述第三区子集不包括所述第一区子集或所述第二区子集的任何区。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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