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龙图腾网获悉卡尔蔡司MultiSEM有限责任公司申请的专利具有用于独立聚焦多重个别粒子束的多极透镜序列的粒子束系统， 其用途及相关方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115298791B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-17发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202180022773.8，技术领域涉及：H01J37/153；该发明授权具有用于独立聚焦多重个别粒子束的多极透镜序列的粒子束系统， 其用途及相关方法是由D.普雷克萨斯;H.弗里茨;A.G.梅杰设计研发完成，并于2021-03-11向国家知识产权局提交的专利申请。

本具有用于独立聚焦多重个别粒子束的多极透镜序列的粒子束系统， 其用途及相关方法在说明书摘要公布了：本发明揭示一种粒子束系统，其包括下列：多束粒子源，其设置成产生多重带电个别粒子束3；多极透镜序列600，其具有至少一个第一多极透镜阵列601和具有至少一个第二多极透镜阵列602，其中该第一多极透镜阵列601包括用于产生第一四极场Q1的多重个别可调第一多极透镜，并布置在粒子的光束路径中，使得所述个别粒子束3基本上穿过该第一多极透镜阵列601，且其中该第二多极透镜阵列602包括用于产生第二四极场Q2的多重个别可调第二多极透镜，并布置在所述粒子的光束路径中，如此穿过该第一多极透镜阵列601的所述个别粒子束3基本上也穿过该第二多极透镜阵列602；以及控制器10，其设置成控制该多极透镜序列的所述多极透镜，使得同一个别粒子束3在各种情况下通过的该多极透镜序列的相关多极透镜群组，对穿过其中的各别个别粒子束3共同整体施加个别可调与聚焦效果。

本发明授权具有用于独立聚焦多重个别粒子束的多极透镜序列的粒子束系统， 其用途及相关方法在权利要求书中公布了：1.一种粒子束系统，其包括下列： 多束粒子源，其设置成产生多重带电个别粒子束； 多极透镜序列600，其具有至少一个第一多极透镜阵列601且具有至少一个第二多极透镜阵列602， 其中该第一多极透镜阵列601包括用于产生第一四极场Q1的多重个别可调第一多极透镜，并布置在粒子的光束路径中，使得所述个别粒子束基本上穿过该第一多极透镜阵列601，和 其中该第二多极透镜阵列602包括用于产生第二四极场Q2的多重个别可调第二多极透镜，并布置在所述粒子的光束路径中，如此穿过该第一多极透镜阵列601的所述个别粒子束基本上也穿过该第二多极透镜阵列602；以及 控制器10，其设置成控制该多极透镜序列的多极透镜，使得同一个别粒子束通过的该多极透镜序列的相关多极透镜群组各自对穿过其中的各个个别粒子束共同整体施加个别可调与聚焦效果， 其中该多极透镜序列600配置为产生以下场序列： 偶极场—四极场—其他四极场—其他偶极场，其中该其他偶极场的定向基本上反向平行于该偶极场。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人卡尔蔡司MultiSEM有限责任公司，其通讯地址为：德国上科亨；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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