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龙图腾网获悉北京航天微电科技有限公司申请的专利具有良好散热的薄膜体声波谐振器、制备方法及滤波器获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115378395B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-17发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202210985730.6，技术领域涉及：H03H9/02；该发明授权具有良好散热的薄膜体声波谐振器、制备方法及滤波器是由闫鑫;张智欣;陈长娥设计研发完成，并于2022-08-17向国家知识产权局提交的专利申请。

本具有良好散热的薄膜体声波谐振器、制备方法及滤波器在说明书摘要公布了：本发明涉及薄膜体声波谐振器技术领域，尤其涉及一种具有良好散热的薄膜体声波谐振器、制备方法及滤波器，包括依次层叠设置的支撑衬底、导热层、第一电极层、压电层、第二电极层和钝化层，第一局部电极层和导热层连接有第一导电焊盘，且第一导电焊盘延伸至支撑衬底之外，第二局部电极层和导热层连接有第二导电焊盘，且第二导电焊盘延伸至支撑衬底之外，导热层连接有导热焊盘，且导热焊盘延伸至支撑衬底之外。通过第一导电焊盘、第二导电焊盘和导热焊盘能够及时将薄膜体声波谐振器产生的热量导出至支撑衬底之外，增强薄膜体声波谐振器的散热能力，由此实现了一种具有良好散热特性的薄膜体声波谐振器。

本发明授权具有良好散热的薄膜体声波谐振器、制备方法及滤波器在权利要求书中公布了：1.一种具有良好散热的薄膜体声波谐振器，其特征在于，包括依次层叠设置的支撑衬底、导热层、第一电极层、压电层、第二电极层和钝化层，其中，所述支撑衬底设有第一凹槽，所述导热层位于所述支撑衬底的所述第一凹槽的所在面上，且所述导热层覆设所述第一凹槽内的每个面； 其中，所述第一电极层包括互相分离的第一局部电极层和第二局部电极层，所述第一局部电极层覆设在所述第一凹槽的开口上，形成第一空腔，所述第二局部电极层与所述第二电极层电连接； 所述第一局部电极层和所述导热层连接有第一导电焊盘，且所述第一导电焊盘延伸至所述支撑衬底之外，所述第二局部电极层和所述导热层连接有第二导电焊盘，且所述第二导电焊盘延伸至所述支撑衬底之外，所述导热层连接有导热焊盘，且所述导热焊盘延伸至所述支撑衬底之外； 所述支撑衬底上开设延伸至第一局部电极层的第六通孔，所述第一导电焊盘填充所述第六通孔并延伸至所述支撑衬底之外，所述支撑衬底上开设延伸至第二局部电极层的第一通孔，所述第二导电焊盘填充所述第一通孔并延伸至所述支撑衬底之外； 在支撑衬底上开设延伸至第一局部电极层的第六通孔，第六通孔的底部露出第一局部电极层，在第六通孔内沉积金属，并沉积延伸至支撑衬底之外，在第六通孔中沉积的金属以及延伸至支撑衬底之外的金属即为第一导电焊盘；在支撑衬底上开设延伸至第二局部电极层的第一通孔，第一通孔的底部露出第二局部电极层，在第一通孔内沉积金属，并沉积延伸至支撑衬底之外，在第一通孔内沉积的金属以及延伸至支撑衬底之外的金属即为第二导电焊盘。

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