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龙图腾网获悉应用材料公司申请的专利双闸门及单一致动器系统获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115428136B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-17发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202180026922.8，技术领域涉及：H01L21/67；该发明授权双闸门及单一致动器系统是由库马森·库帕南;奥弗·阿米尔;迈克尔·库查尔设计研发完成，并于2021-04-02向国家知识产权局提交的专利申请。

本双闸门及单一致动器系统在说明书摘要公布了：公开了一种晶片处理系统、一种双闸门系统以及用于操作这些系统的方法。双闸门系统可以具有第一闸门、第二闸门、耦接至第一闸门和第二闸门的闸门连接器、以及耦接至该闸门连接器的致动器。致动器被配置为经由垂直移动使第一闸门密封在第一狭槽上，或打开第一狭槽。致动器还经配置以经由垂直移动和水平移动的组合，将第二闸门密封在第二狭槽上或打开第二狭槽。

本发明授权双闸门及单一致动器系统在权利要求书中公布了：1.一种双闸门系统，包括： 第一闸门，所述第一闸门被配置为形成抵靠第一狭槽的第一密封； 第二闸门，所述第二闸门被配置为形成抵靠第二狭槽的第二密封，所述第二狭槽与所述第一狭槽相对； 闸门连接器，所述闸门连接器耦接至所述第一闸门与所述第二闸门；以及 致动器，所述致动器耦接至所述闸门连接器，其中所述致动器被配置为： 通过将所述闸门连接器、所述第一闸门、及所述第二闸门一起移动至中间位置，并接着将所述闸门连接器、所述第一闸门、及所述第二闸门一起垂直移动至第一密封闸门位置，以将所述第一闸门密封在所述第一狭槽上；以及 通过将所述闸门连接器、所述第一闸门、及所述第二闸门一起移动至所述中间位置，并接着将所述闸门连接器、所述第一闸门、及所述第二闸门一起水平移动至第二密封闸门位置，以将所述第二闸门密封在所述第二狭槽上，其中 为了打开被密封的第一闸门，所述致动器被配置为将所述闸门连接器、所述第一闸门、及所述第二闸门一起从所述第一密封闸门位置向下移动，经过所述中间位置，至打开闸门位置，并且 为了打开被密封的第二闸门，所述致动器被配置为将所述闸门连接器、所述第一闸门、及所述第二闸门一起从所述第二密封闸门位置水平移动至所述中间位置，并且随后将所述闸门连接器、所述第一闸门、及所述第二闸门一起向下移动至打开闸门位置。

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