川崎重工业株式会社清水一平获国家专利权
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龙图腾网获悉川崎重工业株式会社申请的专利基板保持机械手和基板搬运机器人获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116034000B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-17发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202080103711.5，技术领域涉及：H01L21/677；该发明授权基板保持机械手和基板搬运机器人是由清水一平设计研发完成，并于2020-11-02向国家知识产权局提交的专利申请。
本基板保持机械手和基板搬运机器人在说明书摘要公布了：该基板保持机械手1具备：框架10；叶片20，其支承于框架；一对前支承部21a、21b，它们设置于叶片的前端部20a侧，对基板W进行支承；以及一对后支承部22a、22b，它们设置于叶片的基端部20b侧，对基板进行支承。框架、一对前支承部以及一对后支承部以形成为V字状的方式设置。
本发明授权基板保持机械手和基板搬运机器人在权利要求书中公布了：1.一种基板保持机械手，其特征在于，具备： 框架； 叶片，其支承于所述框架； 一对前支承部，它们设置于所述叶片的前端部侧，对基板进行支承；一对后支承部，它们设置于所述叶片的基端部侧，对所述基板进行支承；以及 框架外侧部件，该框架外侧部件在与所述一对前支承部排列的方向平行的方向上配置于所述框架的外侧， 所述框架、所述一对前支承部以及所述一对后支承部以形成为V字状的方式设置， 所述框架外侧部件配置为在与所述一对前支承部排列的方向平行的方向上不比所述叶片的基端部向外侧伸出， 在所述框架的侧壁部设置有将内部与外部连通起来的开口部， 在所述开口部插通有连接部件，该连接部件将所述框架外侧部件、与配置于所述框架的内侧或者配置于与所述框架的内侧对应的位置的框架内侧部件连接起来， 所述开口部兼作为所述框架内侧部件的维修用的开口部， 所述框架内侧部件包括气缸， 在从与所述一对前支承部排列的方向平行的方向进行观察的情况下，所述开口部设置于与配置在所述框架的内侧的所述气缸重叠的位置。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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