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上海萍生微电子科技有限公司王涛获国家专利权

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龙图腾网获悉上海萍生微电子科技有限公司申请的专利一种基于5G通信N79频段的IPD滤波器及其制作方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN116094478B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-17发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202310146621.X,技术领域涉及:H03H7/01;该发明授权一种基于5G通信N79频段的IPD滤波器及其制作方法是由王涛;汪洋;陈必江设计研发完成,并于2023-02-22向国家知识产权局提交的专利申请。

一种基于5G通信N79频段的IPD滤波器及其制作方法在说明书摘要公布了:本发明涉及滤波器技术领域,具体为一种基于5G通信N79频段的IPD滤波器,包括:信号输入端A、信号输出端B、电容C1、电容C2、电容C3、电容C4、电容C5、电容C6、电容C7、电感L1、电感L2、电感L3。本发明还提供一种制作方法制备该IPD滤波器;该发明优化器件电路结构,在满足滤波性能的基础上,尽量减少器件组成及复杂连接,从而在设计理念上减少其尺寸偏大、功耗较大的缺点;满足滤波性能的基础上,优化器件组成的Q值,降低功耗和带内插损;优化器件层次结构,对于其中的相似结构尽量设计成一样,使之在生产上减少光罩数量,并对工艺设计上的参数成本尽量简化;采用硅基集成,降低IPD滤波器的生产成本。

本发明授权一种基于5G通信N79频段的IPD滤波器及其制作方法在权利要求书中公布了:1.一种基于5G通信N79频段的IPD滤波器制作方法,其特征在于, 所述IPD滤波器包括信号输入端A、信号输出端B、电容C1、电容C2、电容C3、电容C4、电容C5、电容C6、电容C7、电感L1、电感L2、电感L3;所述信号输入端A与信号输出端B之间串接有所述电容C2和电容C5;所述信号输入端A与电容C2正极连接的公共端并接在电容C1正极与电感L1信号输入端上,且所述电容C1负极与电感L1信号输出端并联后接地;所述电容C2负极与电容C5正极连接的公共端连接所述电容C3正极,所述电容C3负极并接在电容C4正极与电感L2信号输入端上,且所述电容C4负极和电感L2信号输出端并联后接地;所述电容C5负极与信号输出端B连接的公共端并接在电容C6正极与电感L3信号输入端上,且所述电容C6负极与电感L3信号输出端并接后接所述电容C7的正极,所述C7的负极接地 所述方法包括: 步骤1:在硅衬底上化学气相沉积形成绝缘介质层,并对硅衬底的表面进行介质平坦化处理; 步骤2:在绝缘介质层上进行刻蚀,形成金属布线凹槽; 步骤3:在绝缘介质层上进行磁控溅射,形成一层薄的金属种子层; 步骤4:在绝缘介质层表面及金属布线凹槽内进行电镀厚金属层; 步骤5:通过化学机械抛光,将绝缘介质层表面除金属布线凹槽以外区域的金属覆盖层全部磨掉,得到目标厚度的金属布线层; 步骤6:重复步骤1-步骤5,使制作出的第一层金属布线层和第二层金属布线层作为IPD滤波器的电感L2、电感L3,第三层金属布线层金属布线层作为IPD滤波器的电感L1;且上下两层金属布线层之间通过铜柱实现电性连接。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人上海萍生微电子科技有限公司,其通讯地址为:201203 上海市浦东新区张东路1387号27幢101(复式)室;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

以上内容由龙图腾AI智能生成。

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